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不同電感耦合等離子體發射光譜儀儀器安裝要求有所不同，但一般都主要包括對實驗室環境、電源、通風、氣體等方面的要求。
(1) 實驗室環境要求環境要求主要包括環境溫濕度、環境潔凈狀況、光及磁場干擾等。具體要求如下。
① 環境溫濕度：一般室溫要求維持在10～25℃間的一個固定溫度，溫度變化應小于±1℃，最佳工作溫度為(20±2)℃。實驗室濕度要求在20%～80%，無冷凝，儀器最佳工作濕度范圍為35%～50%。實驗室最好配備空調等，在相對濕度較大的地區應配備去濕機。
② 實驗室應該保持干凈。每立方米的空氣，大于0.5μm的灰塵顆粒應少于36000000個。室內應無腐蝕性氣體，以免腐蝕儀器。
③ 無強光干擾、振動及磁場干擾，實驗室應無過多的振動，室內照明不宜太強，且避免直射日光的照射，儀器應盡量遠離高強度的磁場、電場及發生高頻波的電器設備，防電磁干擾等。
(2) 電源要求 各個品牌的儀器以及其附件容許的電壓范圍和功率都有所不同，使用前務必按照說明書的要求進行配置。一般采用三相供電系統，其中一相供應主機，一相供計算機及打印機，一相供空氣壓縮機及循環冷卻水裝置等。為了保證ICP儀的安全運行，供電線路必須要有足夠大的容量，并且供電線路不與大電機，如空調機、馬弗爐等共享一條供電線路，以免在這些用電設備啟動時，供電線路的電壓大幅度的波動，造成儀器工作不穩定。此外，為保證儀器具有良好的穩定性和操作安全。必須具有良好的接地線，接地電阻要求小于4Ω。以某品牌為例，儀器具體電源要求如下。
① 儀器主機 要求的供電電源為200～240V的穩定電源，20A，50Hz，單相，具備獨立地線。應配備一單獨控制儀器的斷路器(建議使用空氣開關)。如果用戶電網電壓變化過大，則用戶應配置5kW以上的穩壓電源。作為一臺精密測量儀器，它還需要有相對穩定的電源，供電電壓的變化一般不超過5%，如超過這個范圍，需要使用自動調壓器或磁飽和穩壓器，不能使用電子穩壓器，后者在電壓高時產生削波，造成電脈沖，影響電子計算機、微處理器及相敏放大器的工作。
② 計算機及打印機 消耗功率大約為800W，單相。注意，計算機及打印機必須同儀器主機共用一條地線。用戶應準備適合計算機及打印機使用的多用插線板，插線板必須能夠接人獨立地線。
③ 循環冷卻水裝置 電源要求：220/240V，50Hz，15A，單相。
④ 空氣壓縮機 電源要求：220/240V，50Hz，6A，單相。
(3) 排風要求 抽風系統對于電感耦合等離子體發射光譜儀實驗室是非常重要的，因為電感耦合等離子體發射光譜儀等離子體部分一般會產生有害氣體，抽風系統可以保護實驗室工作人員健康，保護儀器不受由樣品產生的腐蝕性氣體的損害；同時，抽風良好，可以改善等離子炬的穩定性，排除儀器產生的熱量。對于ICP原子發射光譜儀器抽風系統主要應考慮滿足以下要求。
① 抽風系統材料應可能會承受的最高溫度為200℃，建議采用不銹鋼的通風管道。
② 在通風管道末端通風罩處的流速，要求有較大的排風量，如MACYLAB公司ICP-6800排風量要求不小于5600L/min。抽風系統的通風罩，應能夠將儀器樣品倉的排風口罩住，通風罩應安裝在儀器樣品排風口上端5～10cm處。
③ 在適當的通風情況下，儀器擴散到實驗室的熱量大約相當于2200w。
(4) 氣體要求
① 氬氣 目前，電感耦合等離子體發射光譜儀一般采用氬氣作為工作氣體，儀器需要使用較大量的氬氣，工作狀態下氬氣流量一般為15～20 L/min，一鋼瓶氬氣大約使用5～6h，如經常需要連續開機操作，建議配備大型罐裝液氬。此外，還應準備至少一塊氬氣減壓閥及足夠的氬氣，減壓閥的低壓表顯示的最大刻度值應為2～4MPa。一般使用高純氬氣，純度要求為99.99%以上。
② 吹掃氣體 (有些儀器做紫外區波長需要通氣對光學系統掃) 吹掃氣用氮氣或氬氣，使用高流量時流量為3L/min，正常使用時流量為0.5 L/min。氣體純度要求為99.999%。如果用戶需要進行光路吹掃，應準備一塊氣體減壓閥及大約三瓶吹掃氣體，減壓閥的低壓表顯示的最大刻度值應為2～4MPa。
(5) 實驗室空間的要求 早期的ICP儀器一般為立式，隨著儀器小型化發展，目前大多數為臺式。儀器長寬高尺寸為70～150cm，儀器凈重200～300kg，用戶必須根據生產廠家提供儀器尺寸及重量，準備能夠安全承載并適合長期放置儀器主機的工作臺(可以采用耐腐蝕可承重儀器臺或水泥工作臺)。
放置儀器的工作臺，前邊應留有足夠的空間進行儀器的操作，左邊及后邊應至少留出50cm的空間，右邊應至少留出70cm的空間，以便進行調試及維修。計算機及打印機應在靠近儀器主機的旁邊。由于循環冷卻水裝置和空氣壓縮機有一定的噪聲，建議在實驗室內建一隔斷.
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