對于真空度的標識通常有兩種方法:
一是用“壓力”、“真空度”(即比“理論真空”高多少壓力)標識;
在實際情況中,真空泵的壓力值介于0~101.325KPa之間。壓力值需要用壓力儀表測量,在20℃、海拔高度=0的地方,用于測量真空度的儀表(真空表)的初始值為101.325KPa。(即一個標準大氣壓)
二是用“相對壓力”、“相對真空度”(即比“大氣壓”低多少壓力)來標識。
真空行業通用的“真空度”,也是zui科學的是用壓力標識;指得是“極限真空、真空度、壓力”,但“相對真空度”(相對壓力、真空表表壓、負壓)由于測量的方法簡便、測量儀器非常普遍、容易買到且價格便宜,因此也有廣泛應用。
常用的真空度單位有Pa、Kpa、Mpa、大氣壓、公斤(Kgf/cm2)、mmHg、mbar、bar、PSI等。近似換算關系如下:
1MPa=1000KPa
1KPa=1000Pa
1大氣壓=100KPa=0.1MPa
1大氣壓=1公斤(Kgf/cm2)=760mmHg
1大氣壓=14.5PSI
1KPa=10mbar
1bar=1000mbar
真空泵種類 | 起動壓強(Pa) | |
1×105 | 活塞式真空泵 | 1×105~1.3×102 |
1×105 | 1×105—6.7×10-1 | |
1×105 | 水環式真空泵 | 1×105—2.7×103 |
1.3×103 | 羅茨真空泵 | 1.3×103—1.3 |
1.3—1.3×10-5 | 渦輪分子泵 | 1.3 |
1×105 | 水蒸氣噴射泵 | 1×105—1.3×10-1 |
1.3×10-7 | 油擴散泵 | 1.3×10-2—1.3×10 |
<1.3×105 | 油蒸氣噴射泵 | 1.3×10—1.3×10-2 |
1×105 | 分子篩吸附泵 | 1×105—1.3×10-1 |
6.7×10-1 | 濺射離子泵 | 1.3×10-3—1.3×10-9 |
1.3×10-2 | 鈦升華泵 | 1.3×10-2—1.3×10-9 |
1.3×10 | 鋯鋁吸氣劑泵 | 1.3×10—1.3×10-11 |
1.3—1.3×10-1 | 低溫泵 | 1.3—1.3×10-11 |
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