對(duì)于真空度的標(biāo)識(shí)通常有兩種方法
對(duì)于真空度的標(biāo)識(shí)通常有兩種方法:
一是用“壓力”、“真空度”(即比“理論真空”高多少壓力)標(biāo)識(shí);
在實(shí)際情況中,真空泵的壓力值介于0~101.325KPa之間。壓力值需要用壓力儀表測量,在20℃、海拔高度=0的地方,用于測量真空度的儀表(真空表)的初始值為101.325KPa。(即一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓)
二是用“相對(duì)壓力”、“相對(duì)真空度”(即比“大氣壓”低多少壓力)來標(biāo)識(shí)。
"相對(duì)真空度"是指被測對(duì)象的壓力與測量地點(diǎn)大氣壓的差值。用普通真空表測量。在沒有真空的狀態(tài)下(即常壓時(shí)),表的初始值為0。當(dāng)測量真空時(shí),它的值介于0到-101.325KPa(一般用負(fù)數(shù)表示)之間。
真空行業(yè)通用的“真空度”,也是zui科學(xué)的是用壓力標(biāo)識(shí);指得是“極限真空、真空度、壓力”,但“相對(duì)真空度”(相對(duì)壓力、真空表表壓、負(fù)壓)由于測量的方法簡便、測量儀器非常普遍、容易買到且價(jià)格便宜,因此也有廣泛應(yīng)用。
“真空度”顧名思義就是真空的程度。在給定的空間內(nèi),壓強(qiáng)低于101325帕斯卡(也即一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓強(qiáng)約101KPa)的氣體狀態(tài)。
常用的真空度單位有Pa、Kpa、Mpa、大氣壓、公斤(Kgf/cm2)、mmHg、mbar、bar、PSI等。近似換算關(guān)系如下:
1MPa=1000KPa
1KPa=1000Pa
1大氣壓=100KPa=0.1MPa
1大氣壓=1公斤(Kgf/cm2)=760mmHg
1大氣壓=14.5PSI
1KPa=10mbar
1bar=1000mbar
真空泵種類 | 起動(dòng)壓強(qiáng)(Pa) | |
1×105 | 活塞式真空泵 | 1×105~1.3×102 |
1×105 | 1×105—6.7×10-1 | |
1×105 | 水環(huán)式真空泵 | 1×105—2.7×103 |
1.3×103 | 羅茨真空泵 | 1.3×103—1.3 |
1.3—1.3×10-5 | 渦輪分子泵 | 1.3 |
1×105 | 水蒸氣噴射泵 | 1×105—1.3×10-1 |
1.3×10-7 | 油擴(kuò)散泵 | 1.3×10-2—1.3×10 |
<1.3×105 | 油蒸氣噴射泵 | 1.3×10—1.3×10-2 |
1×105 | 分子篩吸附泵 | 1×105—1.3×10-1 |
6.7×10-1 | 濺射離子泵 | 1.3×10-3—1.3×10-9 |
1.3×10-2 | 鈦升華泵 | 1.3×10-2—1.3×10-9 |
1.3×10 | 鋯鋁吸氣劑泵 | 1.3×10—1.3×10-11 |
1.3—1.3×10-1 | 低溫泵 | 1.3—1.3×10-11 |
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