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濕法清洗主要是去除什么氣體的

來源:蘇州芯矽電子科技有限公司   2025年05月20日 09:36  

濕法清洗主要用于去除工件表面或環(huán)境中的顆粒污染物、有機(jī)物、金屬殘留、氧化物等,而非直接針對(duì)氣體。但在半導(dǎo)體制造、光伏等高潔凈度要求的領(lǐng)域,濕法清洗可能間接涉及去除某些氣態(tài)污染物或抑制氣體相關(guān)的污染問題,例如:

1. 直接去除的污染物(非氣體)

顆粒污染物:如灰塵、硅片切割殘留的微顆粒、光刻膠殘留等;

有機(jī)物:光刻膠、助焊劑、油污等有機(jī)殘留物;

金屬污染:銅、鋁、鐵等金屬離子或微粒(例如在半導(dǎo)體制程中,金屬污染可能導(dǎo)致器件失效);

氧化物:如硅片表面的自然氧化層(SiO?)、金屬氧化膜等。

2. 與氣體相關(guān)的間接作用

去除吸附在表面的氣體分子:
某些工藝氣體(如氧氣、氮氧化物)可能吸附在工件表面,形成化學(xué)吸附層。濕法清洗通過化學(xué)反應(yīng)或物理沖刷,可去除這些吸附的氣體分子或其反應(yīng)產(chǎn)物。

抑制氣態(tài)副產(chǎn)物的產(chǎn)生:
在清洗過程中,清洗液可能與表面物質(zhì)反應(yīng)生成揮發(fā)性氣體(如酸霧、氫氣等)。通過濕法清洗的液體環(huán)境,可有效抑制這些氣態(tài)副產(chǎn)物的釋放或擴(kuò)散。

清除氣態(tài)污染物的前驅(qū)體:
例如,在半導(dǎo)體制造中,濕法清洗可去除光刻膠中的有機(jī)成分,避免后續(xù)高溫工藝中有機(jī)成分揮發(fā)形成氣態(tài)污染物(如碳氧化物、揮發(fā)性有機(jī)物VOCs)。

3. 典型應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體制程:
濕法清洗用于去除光刻、蝕刻、沉積等工藝后的表面殘留物(如光刻膠、蝕刻產(chǎn)物),防止這些污染物在后續(xù)高溫步驟中揮發(fā)成氣態(tài)雜質(zhì),影響薄膜生長(zhǎng)或器件性能。

光伏電池片清洗:
去除硅片表面的油污、金屬顆粒等,避免在燒結(jié)或鍍膜過程中產(chǎn)生氣態(tài)污染或缺陷。

濕法清洗的核心目標(biāo)是去除表面固態(tài)或液態(tài)污染物,而非直接針對(duì)氣體。但在高精密制造中,它通過清潔表面間接減少了氣態(tài)污染物的產(chǎn)生風(fēng)險(xiǎn),例如抑制揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)的釋放或防止吸附氣體對(duì)工藝造成影響。如需針對(duì)特定氣體(如惰性氣體、腐蝕性氣體)的處理,通常需要結(jié)合其他技術(shù)(如真空系統(tǒng)、氣體凈化裝置等)。

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