等離子滅菌器是利用過氧化氫氣體與高頻發生器結合產生低溫等離子體，通過等離子體中產生的自由基的作用殺死細菌等微生物的裝置。

它除了殺菌效率高之外，還具有能在短時間內完成處理的優點，而且由于處理后產品會變成水，因此也非常安全。安裝主機無需供水、排水設施。

因此通電后即可立即使用。此外，與高壓滅菌器不同，等離子滅菌器是低溫設備，可用于對無法用高壓高溫蒸汽滅菌的物品進行滅菌。它有時被稱為“過氧化氫氣體等離子滅菌器”。

等離子滅菌器的應用

等離子滅菌器可對金屬制品、塑料制品、玻璃制品等進行滅菌，特別是用于對熱敏感、無法使用高壓蒸汽滅菌法（如高壓滅菌器）進行滅菌的設備。

1.醫療領域

在醫療領域用于人工晶狀體、人工關節等維修前的消毒，以及內窺鏡、手術器械等醫療器械維修前的消毒。內窺鏡手術中使用的內窺鏡管和用于超聲引導的探頭使用頻繁，因此需要有效地進行消毒。

傳統方法包括使用乙烯氣體滅菌和浸泡消毒，但這些方法存在避免乙烯氣體毒性和縮短滅菌時間等問題。等離子滅菌器安全，且能縮短滅菌時間。

2.化學

在化學領域，用于與前述醫療領域相關的人造器官、醫療器械等材料的研發。其他用途包括生物潔凈室設施中的設備消毒。

3. 畜牧業

在畜牧業中用于人工授精設備、SPF動物設施設備的消毒。