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美國(guó)激光干涉儀API測(cè)量?jī)x器信息

來源:篤摯儀器(上海)有限公司   2025年05月12日 17:03  

核心優(yōu)勢(shì)

  • 優(yōu)異精度:標(biāo)準(zhǔn)款激光干涉儀檢測(cè)精度達(dá) 0.5ppm(0.5μm/m),能夠滿足眾多高精度制造場(chǎng)景;XD Laser 系列的精密型更是將精度提升至 0.2ppm(0.2μm/m),適用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)鏡片研磨等對(duì)精度要求高的行業(yè)。

  • 高效測(cè)量:以 XD Laser 6D 為例,一次安裝即可同步完成定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角等 6 項(xiàng)參數(shù)測(cè)量,相比傳統(tǒng)設(shè)備效率大幅提升 80%。例如,1 米行程機(jī)床的全面誤差檢測(cè),傳統(tǒng)方法需要較長(zhǎng)時(shí)間,使用 API 設(shè)備僅 3 - 4 小時(shí)便可完成。

  • 便捷操作:儀器采用緊湊設(shè)計(jì),全套系統(tǒng)輕巧便攜。測(cè)量時(shí)無(wú)需三角架,可直接安裝在機(jī)床導(dǎo)軌上,極大簡(jiǎn)化安裝流程;集成化的干涉鏡與激光器設(shè)計(jì),減少?gòu)?fù)雜的光路調(diào)整步驟;部分型號(hào)支持 25 米以上無(wú)線遙控測(cè)量,方便操作人員在復(fù)雜工況下靈活使用。

  • 良好環(huán)境適應(yīng)力:內(nèi)置自動(dòng)氣壓與溫度補(bǔ)償系統(tǒng),可實(shí)時(shí)校正環(huán)境變化對(duì)激光波長(zhǎng)和測(cè)量結(jié)果的影響;多重?cái)?shù)字濾波器有效抑制空氣波動(dòng)、溫度梯度導(dǎo)致的測(cè)量誤差,無(wú)論是恒溫實(shí)驗(yàn)室還是溫度、濕度變化較大的工業(yè)現(xiàn)場(chǎng),均可穩(wěn)定輸出可靠數(shù)據(jù)。

  • 功能豐富:API 激光干涉儀具備多樣化的測(cè)量功能,1D 型號(hào)專注定位誤差檢測(cè);3D 型號(hào)可測(cè)量定位誤差與雙向直線度誤差;5D/6D 型號(hào)更能實(shí)現(xiàn)角度參數(shù)的全面測(cè)量。此外,XD Laser 系列還可對(duì)速度、加速度、振動(dòng)等動(dòng)態(tài)參數(shù)進(jìn)行分析,為機(jī)床性能評(píng)估提供多維度數(shù)據(jù)支持。


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