手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
工具測量顯微鏡作為精密計量領域的核心設備，通過光學放大與坐標測量技術的融合，實現(xiàn)了對微米級尺寸的精準解析。其結(jié)構設計以光學系統(tǒng)為核心，輔以精密機械與數(shù)字化模塊，形成多維度測量體系。以下從核心組件、輔助系統(tǒng)及功能擴展三個層面解析其結(jié)構特征。
一、光學成像系統(tǒng)：微米級觀察的基石
1.多倍率物鏡組：
采用UIS2無限遠校正光學系統(tǒng)，物鏡組涵蓋4X至100X倍率，例如40X物鏡工作距離僅0.66mm，配合0.15NA數(shù)值孔徑，可清晰分辨晶圓表面0.5μm級劃痕。高倍物鏡（如100X）通過油浸技術進一步提升分辨率，滿足半導體行業(yè)線寬檢測需求。
2.雙目/三目鏡筒：
標配雙目鏡筒（俯角45°）或正像三目鏡筒（分光比100:0/0:100），支持人眼觀測與CCD圖像采集同步進行。例如STM7系列顯微鏡配備的1000X三目鏡筒，可將樣品圖像實時傳輸至計算機，實現(xiàn)遠程監(jiān)控與數(shù)據(jù)存儲。
3.照明模塊：
集成透射、反射及斜射照明系統(tǒng)，光源采用8V12W綠色濾光片燈泡或LED冷光源。例如在檢測PCB板銅箔厚度時，反射照明可增強邊緣對比度，而斜射照明則適用于表面粗糙度分析。
二、精密機械系統(tǒng)：納米級定位的保障
1.三維運動工作臺：
工作臺支持X/Y軸25mm×25mm范圍移動，分辨率達1μm，通過精密絲杠螺母機構實現(xiàn)無級調(diào)速。圓工作臺可360°旋轉(zhuǎn)，角度分度值30″，適用于螺紋塞規(guī)中徑及牙型角測量。例如JX13B型微機型顯微鏡，其工作臺最大承重5kg，滿足中小型模具檢測需求。
2.測微器與讀數(shù)裝置：
配備光柵數(shù)顯系統(tǒng)，X/Y軸分度值0.0002mm，圓工作臺角度分度值1′。例如JX11B型顯微鏡采用0.002mm格值測微手輪，配合0.01mm測微鼓輪，可同時讀取直角坐標與極坐標數(shù)據(jù)。
3.調(diào)焦與定位機構：
粗動調(diào)焦范圍90mm，微動調(diào)焦范圍2mm，最小讀數(shù)0.001mm。通過懸臂架體上的微調(diào)旋鈕，可實現(xiàn)Z軸1mm高度調(diào)節(jié)，適用于凸輪軸輪廓度檢測。
三、數(shù)字化擴展模塊：智能測量的引擎
1.圖像處理系統(tǒng)：
連接CCD攝像頭后，可對工件輪廓進行邊緣提取與幾何擬合。例如在檢測手機屏幕RGB像素間距時，系統(tǒng)可自動識別線寬、圓弧半徑等參數(shù)，測量精度較目視讀數(shù)提升3倍。
2.軟件分析平臺：
配備專用測量軟件（如CD202），支持線距、線夾角、圓半徑等幾何參數(shù)計算。例如在測量齒輪滾刀導程時，軟件可自動生成形位誤差報告，并輸出DXF格式數(shù)據(jù)文件。
3.非接觸測量附件：
可選配激光干涉儀或白光共聚焦傳感器，實現(xiàn)表面形貌的非接觸掃描。例如在檢測精密軸承滾道時，非接觸模式可避免劃傷樣品表面，同時將高度測量重復性控制在0.1μm以內(nèi)。
工具測量顯微鏡通過光學-機械-數(shù)字技術的深度耦合，構建了覆蓋微米至亞微米級的測量體系。在半導體封裝、醫(yī)療器械精密加工等領域，其結(jié)構優(yōu)勢已轉(zhuǎn)化為檢測效率與數(shù)據(jù)可靠性的雙重提升。隨著AI算法與超分辨成像技術的引入，未來顯微鏡將向全自動三維形貌測量方向演進，為先進制造提供更精密的計量支撐。
相關產(chǎn)品
免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權或有權使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權使用作品的，應在授權范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關權利。
采購中心