氟化氫（Hydrogen Fluoride, HF）是一種劇毒、強腐蝕性的無機氣體，廣泛應用于化工、半導體、冶金等行業。由于其高危害性，工作場所的HF濃度必須嚴格監測，以確保人員安全和環境合規。

1. 氟化氫（HF）氣體特性及危害

1.1 基本性質

1.2 主要危害

• 劇毒性：低濃度（1-5 ppm）即可引起眼、鼻、喉刺激，高濃度（>30 ppm）可致死。

• 強腐蝕性：對皮膚、黏膜、金屬、玻璃等造成嚴重腐蝕。

• 慢性暴露：長期接觸可導致氟骨癥、牙齒損傷等。

1.3 職業接觸限值（OELs）

2. 氟化氫（HF）檢測儀選擇指南

2.1 檢測技術對比

2.2 推薦檢測儀類型

（1）便攜式HF檢測儀

• 適用場景：巡檢、泄漏排查、應急響應

（2）固定式HF氣體探測器

• 適用場景：車間連續監測、報警聯動

（3）在線式HF分析儀（高濃度/工業過程）

• 適用場景：化工反應釜、半導體蝕刻工藝

• 3. 氟化氫檢測儀選型關鍵因素

1. 量程：一般車間監測選0-10ppm，工業過程可選更高量程。

2. 精度：誤差≤±5% FS（滿量程）。

3. 響應時間：T90 ≤30秒（電化學傳感器）。

4. 防爆認證：如ATEX、IECEx（化工/石化行業）。

5. 數據記錄：支持存儲或無線傳輸（如4-20mA、RS485、Wi-Fi）。

6. 維護需求：電化學傳感器需每3-6個月校準。

4. 典型應用行業

• 半導體制造：晶圓蝕刻工藝HF泄漏監測

• 化工/石化：氟化反應釜、烷基化裝置安全監測

• 冶金/玻璃加工：HF酸洗車間環境監測

• 實驗室：氫氟酸存儲柜泄漏檢測

5. 結論

• 低濃度（0-10ppm）監測：推薦電化學傳感器。

• 高濃度/工業過程：選擇NDIR或激光吸收技術。

• 防爆需求：選擇ATEX認證型號。

建議：根據具體應用場景選擇檢測技術，定期校準和維護傳感器以保證準確性。