原裝現(xiàn)貨EBARA 荏原EMT907M渦輪分子泵

來源：北崎國際貿易（北京）有限公司 2025年05月06日 14:51

轉子設計和怠速功能，實現(xiàn)節(jié)能和小型化。它有助于降低運營成本。耐腐蝕材料選項可用于廣泛的應用，從負載鎖和 SEM 等輕負載應用到腐蝕性工藝。

特長
通過寬范圍溫度控制實現(xiàn)廣泛的工藝覆蓋
節(jié)能·省空間
應對腐蝕性氣體(標準采用耐腐蝕材料)
對應應用示例:各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長等

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