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XTRAIA CD-3010G日本理學RIGAKUT淺層重復結構的臨界尺寸測量

來源:北崎國際貿易(北京)有限公司   2025年04月23日 09:59  

XTRAIA CD-3010G

斜入射 X 射線 CD 測量工具

可以使用 GISAXS 和 X 射線反射 (XRR) 測量來測量 CD,以測量薄膜厚度、密度和粗糙度。

兼容最大 300 毫米的晶圓


XTRAIA CD-3000G


XTRAIA CD-3010G 規格

技術傾斜小角 X 射線散射測量 (GISAXS), X 射線
反射測量 (XRR)
淺層重復結構的臨界尺寸測量
X 射線源包合管,Cu Ka (8.04 KeV)
X 射線光學元件多層反射鏡光學元件
X 射線探測器二維探測器
主要組件圖案化晶圓測量周期性
精細3D形狀線
和空間,點或孔結構
,淺孔/列,抗蝕劑,掩模圖案,存儲設備單元區域,FinFETs/GAAs
特征圖形識別和全晶圓映射
選擇GEM300 軟件,支持 E84/OHT
本體尺寸1865(寬)× 3700(深)× 2115(高)毫米,2965 公斤(包括裝載口)
測量目標GISAXS:間距、CD、高度、SWA(側壁角度)、RT(頂部圓角)、RB(底部圓角)、線寬分布、間距分布、高度分布
XRR:薄膜厚度、密度和粗糙度



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