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高精度定制化!天恒科儀平板探針臺:測試領域的“齊全選手”

來源:天恒科儀(蘇州)光電有限技術公司   2025年04月03日 17:08  

在半導體制造、光電子研究等高精尖領域,測試設備的性能直接決定研發效率與產品良率。近日,Horizon Technology推出HTMP系列平板探針臺,憑借其1μm級精度調節、全參數客制化設計及多場景兼容能力,成為行業關注的焦點。

這款設備如何實現“精準與靈活”的平衡?我們一探究竟!

核心技術亮點:精度與效率的雙重突破

微米級定位系統:

X-Y-Z三軸調節:采用線性無回差氣浮技術,行程50mm×50mm×50mm,精度達1μm,可快速定位且無機械磨損。

旋轉與傾角調節:水平方向360°粗調±5°微調,垂直擺動±20°,滿足復雜角度測試需求。

Z軸升降:氣動升降行程50mm,速度可調,結合微調25mm行程,兼顧效率與精細操作。

光學與成像升級

180X-1000X光學倍率,分辨率1μm,搭配1920×1080P工業相機,實時捕捉微觀細節,確保測試結果可視化與可追溯性。

全場景測量兼容:

支持低頻、高頻、大功率、光波測試:電流精度低至10fA(開爾文結構),頻率覆蓋DC-1100GHz,功率承載10kV/1500A,光波范圍涵蓋紫外至紅外,滿足從芯片到光器件的多樣化需求。

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定制化服務:靈活適配企業需求

HTMP系列主打“按需定制”,用戶可根據實際場景選擇:

尺寸與形態:圓形/方形可選,外型支持U型設計,材質采用防腐拋光不銹鋼,平整度±3μm。

功能模塊:真空吸附或懸空夾持方案,探針座最多支持8個,兼容4.5英寸探針卡,適配不同產線布局。

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應用場景:從實驗室到工業產線

半導體封裝測試:1.4μm點測定位精度,確保晶圓級測試穩定性。

光通信器件研發:紅外光波檢測能力,助力光模塊性能驗證。

功率器件量產:1500A大電流承載,滿足IGBT、SiC器件的高壓測試需求。

Horizon Technology HTMP平板探針臺以“精度可控、功能齊全、靈活定制”為核心競爭力,為微電子領域提供了高效可靠的測試解決方案。




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