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德國馬爾薄膜測厚儀一般是由兩個激光位移傳感器上下對射的方式組成的，上下的兩個傳感器分別測量被測體上表面的位置和下表面的位置，通過計算得到被測體的厚度。德國馬爾薄膜測厚儀的優點在于它采用的是非接觸的測量，相對接觸式測厚儀更精準，不會因為磨損而損失精度。相對超聲波測厚儀精度更高。相對X射線測厚儀沒有輻射污染。
德國馬爾薄膜測厚儀是基于三角測距原理，使用集成式的三角測距傳感器測量出從安裝支架到物體表面的距離，進而根據支架的固定距離計算得出物體的厚度。
激光束在被測物體表面上形成一個很小的光斑,成像物鏡將該光斑成像到光敏接收器的光敏面上,產生探測其敏感面上光斑位置的電信號。當被測物體移動時,其表面上光斑相對成像物鏡的位置發生改變,相應地其像點在光敏器件上的位置也要發生變化,進而可計算出被測物體的實際移動距離。
兩個激光位移傳感器的激光對射，被測體放置在對射區域內，根據測量被測體上表面和下表面的距離，計算出被測體的厚度。
德國馬爾薄膜測厚儀的基本組成是激光器、成像物鏡、光電位敏接收器、信號處理機測量結果顯示系統。激光束在被測物體表面上形成一個亮的光斑，成像物鏡將該光斑成像到光敏接收器的光敏上，產生探測其敏感面上光斑位置的電信號。當被測物體移動時，其表面上光斑相對成像物鏡的位置發生改變，相應地成像點在光敏器件上的位置也要發生變化，兩者之間的關系：
測厚計算公式
式中：
X、X`——分別是被測物位移和光敏器件上像斑的位移；
L、L`、α——是系統的結構參數,是根據具體使用要求而選定的。
由此可見精確地測量X`就可以得到被測物體的位移量，這就是三角法測量位移的原理。
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