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目前世界上比較通用的純水標準主要有以下幾個：標準化組織（ISO），美國臨床病理學會（CAP）試藥級用水標準，美國測試和材料實驗社團組織（ASTM），臨床試驗標準委員會（NCCLS），美國藥學會（USP）等。同時，我國也有相應的純水標準：中國國家電子級超純水規格GB/T11446-1997和中國國家實驗室用水規格GB6682-2008等。
中國國家實驗室用水規格GB6682-2008標準
| PH 25℃ | 電導率 25℃ μS/cm | 電阻率25℃ MΩ*cm | 可氧化物質 以（O）計 mg/L | 吸光度 254nm,1cm | 蒸發殘渣 mg/L （105±25℃） | 可溶性硅 以（sio2）計,mg/L | |
| 一級 | —— | ≤0.1 | ≥10 | —— | ≤0.001 | —— | <0.01 |
| 二級 | —— | ≤1.0 | ≥1 | <0.08 | ≤0.01 | ≤1.0 | <0.02 |
| 三級 | 5.0-7.5 | ≤5.0 | ≥0.2 | <0.40 | —— | ≤2.0 | —— |
中國國家電子級超純水規格GB/T11446.1-1997
| 電阻率 25℃ MΩ*cm | 硅 ≤μg/L | 銅 ≤μg/L | 鋅 ≤μg/L | 鎳 ≤μg/L | 鈉 ≤μg/L | 鉀 ≤μg/L | 氯 ≤μg/L | >1μm顆粒 ≤個/ml | 細菌 ≤個/ml | 硝酸根 ≤g/L | 磷酸根≤μg/L | 硫酸根≤μg/L | TOC ≤μg/L | |
| EW-I | ≥18* | 2 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.5 | 0.5 | 1 | 0.1 | 0.01 | 1 | 1 | 1 | 20 |
| EW-II | ≥15 ** | 10 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 1 | 5 | 0.1 | 1 | 1 | 1 | 100 |
注*（95％時間不低于17），**（95％時間不低于13）
美國臨床病理學會CAP試藥級用水標準/美國臨床檢查標準化委員會NCCLS用水標準
| 電阻率25℃ MΩ*cm | 氧化矽 mg/L.max | 重金屬 mg/L.max | KMnO4消毒 分.min | 鈉 mg/L.max | 氨 mg/L.max | 微生物 | PH值 | |
| CAP-Ⅰ | ≥10 | 0.01 | 0.01 | 60 | 0.1 | 0.1 | 微少 | 6.0-7.0 |
| CAP-Ⅱ | 0.5 | 0.01 | 0.01 | 60 | 0.01 | 0.01 | 微少 | 6.0-7.0 |
| CAP-Ⅲ | 0.2 | 0.01 | 0.01 | 60 | 0.1 | 0.1 | 微少 | 6.0-7.0 |
| NCCLS | ≥10 | 0.05 | —— | —— | —— | —— | 10 | —— |
美國材料試驗學會ASTM水質標準
| TypeI | TypeII | TypeIII | |
| 比電阻（MΩ.cm.25℃） | ≥16.66 | 1.0 | 1.0 |
| 氧化硅（mg/L.max） | - | - | - |
| 重金屬（mg/L.max） | - | - | - |
| 高錳酸鉀試驗（分.min） | 60 | 60 | 60 |
| 鈉（mg/L.max） | - | - | - |
| 氨（mg/L.max） | - | - | - |
| 微生物 | - | - | - |
| PH值 | - | - | 6.2-7.5 |
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