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白光干涉儀作為一款高精度的測量儀器，廣泛應用于科學研究和工程實踐各個領域。其使用細節關乎測量結果的準確性和儀器的使用壽命，因此，掌握正確的使用方法至關重要。以下是對白光干涉儀使用細節的詳細描述：
1. 前期準備
- 環境要求：白光干涉儀應放置在干燥、清潔的房間內，避免振動和潮濕。儀器搬動時，需托住底座，防止導軌變形。
- 儀器檢查：確保光學零件干凈，無灰塵和污漬。必要時，可使用脫脂清潔棉花球蘸取酒精混合液輕輕擦拭反光鏡、分光鏡等光學元件。同時，檢查傳動部件是否潤滑良好，特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應使用T5精密儀表油進行潤滑。
2. 操作過程
- 開機預熱：打開電源，讓儀器預熱一段時間，以確保內部元件達到穩定狀態。
- 樣品放置：將待測樣品平穩放置在載物臺上，確保樣品表面與物鏡對齊。對于不規則形狀的樣品，需調整載物臺或使用輔助工具固定樣品。
- 參數設置：根據樣品特性和測量需求，設置合適的光源強度、照射角度、掃描范圍等參數。
- 調焦找像：通過操縱桿搖桿旋鈕調節鏡頭高度，找到清晰的干涉條紋圖像。這一步是測量的關鍵，直接影響到測量結果的準確性。
- 開始測量：確認參數無誤后，點擊“開始”按鈕進行測量。在測量過程中，保持儀器穩定，避免外界干擾和震動。
- 數據采集與分析：測量完成后，儀器會自動采集并記錄數據。用戶可以通過軟件界面查看干涉圖樣的形狀和變化，進行數據處理和分析，得出樣品的表面形貌信息。
3. 后期維護
- 清潔保養：定期清理儀器表面的灰塵和污垢，保持光學元件的清潔。避免使用腐蝕性清潔劑或溶劑，以免損壞儀器表面。
- 存儲管理：測量完成后，及時關閉電源，蓋上防塵罩。將儀器存放在干燥、陰涼的地方，避免陽光直射和高溫環境。
- 故障排查：如在使用過程中遇到問題，應及時聯系專業維修人員進行檢查和維修。切勿自行拆解或修理儀器，以免造成更大的損失。
白光干涉儀的使用細節涉及多個方面，包括前期準備、操作過程以及后期維護等。只有嚴格按照操作規程進行使用和維護，才能確保儀器的性能穩定、測量結果準確可靠。
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