前言高質量多層光學鍍膜的制造商需要使用可靠的方法來準確測量薄膜材料的光學性能。傳統方法通過兩次單獨的測量來實現：垂直入射透射率 (T)，通常在分光光度計的樣品室內進行測量，以及近法線反射率 (R) 測量，這需要使用單獨的反射附件。由于在 R 和 T 測量之間的儀器配置變化期間樣品重新定位，因此使用這種方法很難確保兩次測量都在樣品上的同一部位。而 Cary 7000分光光度計 UMS 解決了這一難題，可在樣品表面相同點處測量多角度透射率和絕對反射率，無需重新定位樣品。此方法可以避免采用不同 %R 和 %T 測量技術時通常由入射角 (AOI) 細微變化引起的系統誤差。

光學薄鍍膜的 QA/QC光學薄鍍膜的有效質量保證和質量控制 (QA/QC) 基于鍍膜過程中和完成時進行的準確光譜測量。目前的 QA/QC 測試通常僅限于為測試目的引入鍍膜工藝的代表性見證片 (witnesspieces)。在大批量多樣品測試中，每次分析的成本過高，因此見證片測試比大量成品的綜合測試更受歡迎。在本研究中，我們使用配備安捷倫固體自動進樣器的安捷倫Cary 7000 UMS 對多個未鍍膜的熔融石英樣品進行自動化、無人值守的多角度 R/T 分析，從而提高了分析效率并降低了每次分析的成本。

實驗部分儀器• Agilent Cary 7000 全能型分光光度計• 安捷倫固體自動進樣器Cary 7000 UMS 是最新一代高性能 UV-Vis-NIR 分光光度計，專為波長范圍為 250-2500 nm 的多角度光度光譜 (MPS) 應用而設計。MPS 測量樣品的絕對反射率和/或透射率，角度范圍從近法線入射角到傾斜入射角[1]。UMS 可在不同角度下測量樣品同一部位的透射率和絕對反射率。透射率可以通過入射到樣品上的線偏振光來測量，然后以樣品為軸將檢測器旋轉到反射光的位置來測量反射率。UMS 還能用作測角分光光度計，測量非鏡面反射表面的漫反射率和半透明材料的漫透射率。添加的自動偏振器有助于進一步實現 S、P 或用戶偏振角的準確測量。Cary 7000 UMS 的 Cary UMA 配件（通用型測量附件）是為現有 Cary 4000/5000/6000i UV-Vis-NIR 分光光度計用戶提供的升級選項。

固體自動進樣器是獨立控制的樣品支架，專為 Cary 7000 UMS和 UMA 設計。如圖 1a 所示，它可以固定在 Cary 7000 UMS測量室內部。除 UMS 提供的入射角 (AOI) 控制 (Θi) 外，固體自動進樣器還提供了兩個額外的自由度，即入射光束軸 (Io)的徑向 (z) 和旋轉方向 (Φ)。不同的樣品支架可裝載多個樣品（最多 32 × 1 英寸直徑，圖 1b）或單個大直徑樣品（8 英寸直徑）。研究表明，納入超出近法線入射角度的 MPS 數據可以更好地執行復雜薄膜的逆向工程[2]。此外，多角度光度光譜數據還提供了電介質薄膜中總損耗振蕩的信息[3]。使用 Cary 7000 UMS執行的 MPS 測量已被用于驗證和優化在鍍膜生產運行期間應用的逆向工程策略[4]。

結果與討論單個樣品分析使用 Cary UMS 提供 1 mm 厚熔融石英（同一樣品部位）的絕對鏡面反射率和直接透射率的連續多角度測量結果，無需重新定位樣品（圖 2）。這種對 1 mm 厚熔融石英板的透射率和反射率的簡單測量，分別在 S 偏振光和 P 偏振光的 0 至 82°透射角和 6 至 82°反射角下進行。在樣品表面入射光束不偏離的情況下，石英樣品的物理尺寸將可測量的入射角范圍限制在 < 82°。顯示的測量值包括前表面和內部后表面反射和透射的測量結果。