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壓電堆疊致動器(stacked piezoelectric actuator):原理與應用簡介

來源:上海溪拓科學儀器有限公司   2025年02月04日 20:49  

一、壓電效應與壓電材料

壓電堆疊致動器的核心在于壓電效應,即某些材料在機械應力作用下產生電荷(正壓電效應),或在電場作用下產生形變(逆壓電效應)。這種效應常見于石英、鈦酸鋇等晶體材料,以及鋯鈦酸鉛(PZT)等陶瓷材料。其中,PZT陶瓷因其高壓電系數和穩定性,成為制造壓電堆疊致動器的主要材料。

 

二、壓電堆疊致動器的工作原理

壓電堆疊致動器由多層壓電陶瓷片堆疊而成,層間通過電極連接。當施加電壓時,每層陶瓷片因逆壓電效應產生微小形變,多層疊加后形成顯著的位移或力輸出。其輸出特性主要取決于材料屬性、堆疊層數和結構設計。

 

三、壓電堆疊致動器的優勢

1. 高精度:位移分辨率可達納米級,適合精密定位。

2. 快速響應:響應時間在微秒級,適用于高頻操作。

3. 大力輸出:多層堆疊設計可產生較大推力。

4. 結構緊湊:體積小,易于集成到各類系統中。

5. 低功耗:僅在狀態改變時消耗電能,節能高效。

 

四、壓電堆疊致動器的應用領域

1. 精密定位:用于半導體制造、光學儀器和顯微鏡的納米級定位。

2. 主動振動控制:應用于航空航天、汽車工業,減少振動和噪音。

3. 微機電系統(MEMS):驅動微泵、微閥等微型設備。

4. 生物醫學工程:用于超聲波成像、藥物輸送和微創手術器械。

5. 聲學設備:制造高保真揚聲器和超聲波傳感器。

 

五、應用案例

德國MRC, MRC Systems GmbH 公司的激光自準直系統(Laser Beam StabilizationLBS)使用壓電堆疊致動器控制反光鏡的運動,從而穩定激光光束。其致動器包括兩個型號:P2S30P4S30。其中P4S304層壓電堆疊,可以提供更高的位置準確度和更快的速度,適用于更大的反光鏡。

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、結論

壓電堆疊致動器憑借其高精度、快速響應和大力輸出等優勢,在多個領域展現出廣泛應用前景。隨著新材料和技術的進步,其性能將進一步提升,應用范圍也將不斷擴大,為現代科技發展提供重要支持。


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