環境溫濕度對半導體芯片生產中的影響

測量氣體中的水蒸氣露點溫度的儀器叫做露點儀。露點儀因所使用的冷卻方法和檢測控制方法不同，可以分為多種類型。這里只介紹熱電制冷自動檢測露層的平衡式精密露點儀在半導體芯片生產中的應用。

       露點儀在半導體芯片的生產工藝中起重要監測作用。半導體芯片的生產是在

凈化間內進行的。凈化間規范往往包括相對濕度（RH）這一項，一年內控制點的范圍從35%到65%，精度2%（70℃以下）濕度超標會影響產品質量及生產計劃的完成。

        在半導體芯片生產區，濕度不穩定，會出現很多問題。最典型的問題是烘干期延長，整個處理過程變得難以控制。當相對濕度高于35%時，元件易被腐蝕。此外，將顯影液噴在芯片表面時，顯影液迅速揮發，使芯片表面溫度下降，致使水汽凝結在芯片表面。凝結水不但會影響顯影特性，還會吸收到半導體內，這將導致膨化及其它質量缺陷，還必須增加一些不必要的工藝控制。

特征

特 點 

全部在TEKHNE工廠校準 創新的氧化鋁技術 測量范圍：-100～+20℃露點 0～2000ppm（選件） 精度：±2℃露點 壓力：10-4Pa～30 MPa TK-100在線式監測儀 TK-100傳感器不包含監測儀 安裝簡便

簡 便 

 TEKHNE公司是一家擁有40年露點測量的日本制 造商，生產創新的TK-100系列濕度儀。  測量方便，帶有顯示屏的TK-100在線式濕度儀能 連續測量，你所需要的是100～240VAC電源和樣氣接 口。此外，你也可以選擇TK-100露點傳感器，單獨使 用4～20mA信號輸出供電18～28VDC。

高 品 質  

TEKHNE的氧化鋁陶瓷傳感器能保證最佳精度， 快速響應以及長期穩定性。大多數先進的傳感器技術 均應用于此。  此外，先進的微處理器技術實現全溫度補償，將 處理溫度到露點測量值的影響最小化。通過TK-100傳 感器把-80～+20℃露點輸出轉換為穩定的和線性的 4～20mA輸出。

靈 活 性  

TEKHNE的TK-100系列用于空氣或惰性氣體的露 點測量。把傳感器通過選件取樣座由5/8” UNF或1/8”  NPT接入到你的處理線上。1/8 DIN顯示屏可在距離傳 感器1000米遠處設置。  處理線的流量必須設定為1～10NL/分（帶選件取 樣座）或0.5～10m/秒（不帶選件取樣座）溫度范圍 -20～+60℃，壓力可達30MPa。建議安裝過濾器濾去 灰塵。

主要用途

• 手套箱內的露點控制

• 干燥機露點檢查

• 熱處理爐內氣氛控制

• 潔凈室和干燥室的露點管理

• 氣體純度控制

• 天然氣水分管理

• 半導體制造設備

• 有機EL制造

技術參數

TK-100 傳感器 

測量范圍 -100～+20 ℃

露點  0～2000ppm（選件） 

精度 ±2 ℃露點 

模擬輸出 4～20 mA（三線技術） 

供電 12～28 VDC 

操作溫度 -20～+60 ℃ 

操作壓力 10-4Pa～30 MPa 13 

TK-100 監測儀 

顯示器 5位數字LED 

測量范圍 -100～+20 ℃露點 

輸出 4～20 mA 報

警繼電器 3個繼電器觸點 

操作環境 0～+50 ℃（35～85%RH） 

供電 100～240 VAC, 50/60 Hz 

面板開孔 92寬 x 45高 mm