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高純器分析儀主要基于光電子發射原理，利用高分辨率電子能譜技術來研究材料表面的電子狀態。當一個光子擊中樣品時，會產生光電子釋放出來，這些光電子的能量和數量可以表征樣品表面的電子結構。此外，還采用了陽離子大氣壓離子化質譜儀(API-MS)技術，該技術通過電暈放電產生電子流，電子與離子源中的樣氣發生反應，導致樣氣氣體分子的電離。由于污染物分子在樣氣中濃度很低，它們需要很少的能量就可以產生電離，因此與樣氣離子發生反應的幾率非常高。這種反應發生時，電荷轉移至污染物氣體分子，形成再次電離，導致非常高比例的污染物氣體分子被電離。電離的污染物經過一系列的減壓透鏡后，進入三重四級桿質譜儀進行準確測量。
高純器分析儀特點：
高分辨率和靈敏度：具有非常高的分辨率和靈敏度，能夠準確檢測到不同元素的電子能級和微小濃度的污染物。其能量分辨率通常達到10 meV或以下，空間分辨率可達到亞微米級別，測量下限可達到ppt級別。
快速響應：高純器分析儀具有快速在線測量的能力，典型測量時間小于5秒，能夠立即響應供氣的波動狀況，滿足實時監測的需求。
多分析器集成：集成了多分析器分析方案，提供了污染物的快速檢測能力，同時支持多流路分析，提高了分析效率和準確性。
備份能力：在單個大氣壓離子化分析器(API)在維護時，允許每一臺大氣壓離子化質譜儀(APIMS)支持多流路分析，確保了分析的連續性和可靠性。
工業通訊協議支持：支持多種標準化工業通訊協議(如OPC、DDE、Modbus、Siemens 3964R、PROFIBUS等)，方便與工廠控制和數據集中系統進行集成和通信。
安全性高：部分高純器分析儀配置有氫安全系統，能夠在氫氣泄漏時安全關閉質譜儀，確保操作安全。
智能化和自動化：高純器分析儀通常采用智能化的控制系統和自動化的操作流程，能夠自動校準、自動切換流路、自動采集和分析數據，降低了操作難度和人工誤差。
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