氦質譜檢漏儀淺析1---氦氣

       氦質譜檢漏儀（Helium LeakDetector，HLD）是用氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。

      氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并 易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，氦氣通常用作氦質譜檢漏儀的示蹤氣體。特點如下：

   1. 由于空氣中的氦含量非常低，氦的背景值較低，這有利于發現極少量的氦：

   2. 氦分子體積小，重量輕，易于擴散，易于穿透泄漏，易于識別：

   3. 氦離子具有低的電荷質量比，并且易于進行質譜分析；

   4. 氦是一種惰性氣體，具有穩定的化學性能，不會腐蝕或損壞設備；

   5. 氦是無毒的，而且極難保存在水中。

        氦氣：空氣中的氦含量為0.0005%（百萬分之五）。氦氣通常是無色無味的氣體；熔點-272.2°C（25 atm），沸點-268.9°C；密度0.1785g/L，臨界溫度-267.8℃，臨界壓力2.26大氣壓；水溶性為8.61cm3/kg水。