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光刻烤膠機采用什么技術(shù)工作的?

來源:深圳市博大精科技實業(yè)有限公司   2024年10月15日 13:38  
  光刻烤膠機主要用于將光刻膠固定在硅片上,形成穩(wěn)定的電路結(jié)構(gòu)。它是通過精確控制烤膠的溫度和時間,確保光刻膠能夠均勻、穩(wěn)定地附著在硅片上,從而提高產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。該設(shè)備被廣泛應(yīng)用于集成電路制造、光電子器件制造、微納加工等領(lǐng)域。
  光刻烤膠機的核心技術(shù)主要體現(xiàn)在其準確的光刻和烤膠工藝上。光刻工藝利用光化學(xué)反應(yīng)將電路圖案精確地轉(zhuǎn)移到硅片上,而烤膠工藝則是將光刻膠固定在硅片上。光刻烤膠機通過高精度的光學(xué)系統(tǒng)和精密的機械結(jié)構(gòu),實現(xiàn)了對光刻和烤膠過程的精確控制,從而保證了電路圖案的準確性和一致性。
  博大精科提供的HTL-350光刻烤膠機(晶圓烤膠機)板表面溫度均勻,溫度100℃以內(nèi),精度0.1~0.3°C,200℃以內(nèi),精度%0.5℃,可選帶有保溫蓋,整個加熱區(qū)形成一個保溫腔,大大提高溫度均勻度,也起到防塵作用。可選擇帶有負壓功能,表面帶有若干吸附孔,可使被加熱材料與加熱板表面緊密貼合,起到受熱均勻效果。
 

 

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