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MKS傅立葉紅外氣體分析儀是一種高性能的氣體分析儀器，用于檢測和測量氣體樣品中的成分。其關鍵部件包括光源、光學系統、樣品室、檢測器、數據處理系統和控制系統等。下面將分別介紹這些關鍵部件的功能和特點。
1、光源：光源是MKS傅立葉紅外氣體分析儀中的一個重要部件，用于產生紅外輻射。光源通常采用穩定的紅外輻射源，例如熱電偶或紅外發射二極管。光源的穩定性和強度直接影響到檢測的準確性和靈敏度。
2、光學系統：光學系統主要包括光路、濾光片和反射鏡等組件，用于引導和整理紅外輻射，確保其能夠準確地照射到樣品室中的氣體樣品。優質的光學系統可以提高分辨率和靈敏度。
3、樣品室：樣品室是用于放置氣體樣品的區域。在MKS傅立葉紅外氣體分析儀中，樣品室通常采用密閉設計，以避免外部干擾和氣體泄漏。樣品室的溫度、壓力和濕度等參數需要嚴格控制，以確保測量結果的準確性。
4、檢測器：檢測器是用于測量被樣品室中氣體吸收的光強度的部件。通常采用紅外探測器，例如熱電偶探測器或半導體探測器。檢測器的靈敏度和響應速度對其性能至關重要。
5、數據處理系統：數據處理系統用于接收、處理和分析檢測器輸出的信號，并計算出氣體樣品中各種成分的濃度。數據處理系統通常配備了先進的算法和軟件，可以實現實時監測和數據記錄。
6、控制系統：控制系統用于控制整個分析儀的運行和參數設置。控制系統通常包括溫度、壓力和流量控制等功能，以確保分析過程穩定可靠。
總的來說，MKS傅立葉紅外氣體分析儀的關鍵部件主要包括光源、光學系統、樣品室、檢測器、數據處理系統和控制系統，它們共同作用，實現了對氣體樣品成分的高精度分析和監測。
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