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案例分享 | 液晶屏玻璃基板上線路結構的觀察

來源:徠卡顯微系統(上海)貿易有限公司   2024年09月23日 16:40  

隨著電子產品的更新換代,顯示屏的清晰度和色彩等要求越來越高。尤其手機更是如此, 每出一款新的手機,顯示屏的對比度和光亮度、高速度等性能就會有一個質的飛躍。我們今天來看看 TFT-LCD 內部基板會是一個什么樣的結構呢?


本文就某個 TFT-LCD 的玻璃基板,采用氬離子束進行截面切割,然后上掃描電鏡觀察截面線路的結構。


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  取樣


玻璃基板一般是表面有一層膜,考慮到膜層非常的薄且軟。制備的時候需要對其保護。 我們先從一片大的玻璃基板上取1cmX1cm的大小樣塊。可以采用玻璃刀裁剪。

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  樹脂邊緣保護

采用可快速固化的 AB 膠,混合均勻后涂覆在樣品有膜層的一邊。控制樹脂的厚度不要超過 30um。然后放在加熱臺上 60 度保溫,加速樹脂的固化。大約 2 小時后樹脂就已經wan全固化,就可以進行下一步。

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3


  截面磨平

隨意選取一個截面,放置在1000號的砂紙上進行截面磨平。如果條件允許,最好在磨拋機上進行磨平。研磨的過程中控制力道,注意不要把玻璃基板磨碎,膜層破損嚴重的情況發生。


4


  離子束

磨平后,我們就可以上氬離子束進行切割。目的是把研磨殘留的損傷采用離子束切割的方式去除。完整保留玻璃基板的內部結構。

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  電鏡觀察

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可以看到玻璃基板上的膜層線路結構,每層的厚度和排列情況清晰可見。

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放大1萬倍后線路圖


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  所用儀器:

徠卡三離子束切割儀 Leica EM TIC 3X

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*來自徠卡顯微系統合作代理商 廣州領拓貿易有限公司的投




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