微電子教學實驗系統

在科技與人才雙驅動的新時代，高等教育致力于提升人才培養質量，特別是培養理論研究、半導體設計、工藝流程及研發管理的復合型人才。

依托其在微電子和半導體測試的經驗，設計了微電子實驗系統，將實踐與測試理念融入教學，為實踐教學提供了新方向。 

微電子實驗系統基本特點

1. 豐富的實驗項目

微電子教學實驗系統提供了多達9種實驗項目，涵蓋了微電子學、集成電路設計等方面。這些實驗項目旨在幫助學生全面了解微電子學的基本原理和集成電路設計的方法。

2. 靈活的實驗配置

系統采用模組化設計，允許各設備獨立連接與操作，學生依據實驗目標靈活選擇設備，并在掌握原理后正確組裝連接，此過程有效鍛煉了其實踐動手能力。同時，“積木式”布局結合寬敞的實驗桌，實現了同一平臺上的多樣化實驗同步進行，顯著提升設備利用率并加速實驗進程。

3. 先進的實驗設備 

微電子教學實驗系統采用了先進的實驗設備和技術，如產品：半導體CV特性測試儀、數字示波器、雙通道數字源表、信號源等，這些設備可以為學生提供真實的現實微電子設計、制造及測試環境，有利于學生畢業后更快適應微電子行業環境。 

4. 易于操作的學習平臺 

微電子教學實驗系統采用了直觀的操作界面和友好的人機交互設計，圖文化教學使學生能夠輕松地學習到微電子、集成電路、測試儀器的基本原理及實驗操作。同時，實驗臺還提供了詳細的實驗步驟和故障排除指南，幫助學生解決實驗過程中遇到的問題。

一．微電子教學實驗系統總體方案

二．實驗內容

（一）肖特基勢壘特性及雜質的測量

本實驗旨在讓學生掌握肖特基二極管結構、原理、應用，及其整流特性和勢壘電容。

（二）電阻式傳感器的工作原理與測量

本實驗旨在讓學生掌握各種不同電阻式傳感器的工作原理，并掌握LCR測量阻抗的方式。

（三）場效應晶體管直流參數測試

本實驗旨在讓學生更深入地了解MOSFET的工作原理，并掌握實驗操作技能，為未來的研究和工作奠定基礎。

（四）PN結直流特性測試及PN結參數的變溫測試

本實驗旨在讓學生深入了解晶體管的工作機制，掌握實驗技能，并為未來的研究和工作打下堅實的基礎。

（五）雙極型晶體管直流參數的測量

本實驗旨在讓大家掌握雙極型晶體管的基本結構及主要參數的定義，了解并利用源表進行雙極型晶體管輸入特性和輸出特性曲線的測量方法，以及了解雙極型晶體管輸出特性的常見缺陷及其產生的原因。

（六）MOS器件靜態特性測試分析

本實驗旨在讓大家掌握MOFFET飽和漏電流ldss、閾值電壓Vth、跨導等靜態參數的測量方法，以及了解測量MOSFET輸出特性曲線的方法。

（七）MOS器件CV特性測試

本實驗旨在讓學生了解場效應管的動態參數與寄生電容，熟悉動態參數中Ciss、Coss、Crss等的定義及危害，并掌握它們的測量方法和曲線掃描技巧。

（八）MOS器件動態開關特性測試

本實驗旨在讓大家掌握MOSFET開啟過程、開關時間定義、熟練掌握函數信號發生器和數字存儲示波器的使用。

（九）集成運放特性分析測試（上、下）

本實驗旨在讓大家了解集成電路的概念，熟悉集成運放放大器的結構，了解集成電路放大器中的各種參數概念，并掌握集成電路放大器的參數測量方法。

三、微電子教學實驗系統儀器配置清單