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愛安德東西什么是晶圓研磨?

來源:愛安德商貿(mào)(深圳)有限公司   2024年08月13日 19:58  

愛安德東西什么是晶圓研磨?

“晶圓研磨”

Back Grinding)在國內(nèi)有時叫“背研”,也有的根據(jù)目的叫做“減薄”。顧名思義,主要是將晶圓通過背面打磨使之厚度控制在一定的范圍.為什么要這樣做?因為這道工藝對于設(shè)備的精度要求較高,而且加工成本也不低。在打磨的過程中很容易造成晶圓破裂,尤其是現(xiàn)在的晶圓直徑越來越大(現(xiàn)在12"的晶圓已經(jīng)投入生產(chǎn)批量)更增加了控制難度。所以有些晶圓代工/加工企業(yè)就留下這一工序,放在后工序來做。

因此后工序企業(yè)拿到的晶圓,,有時候是沒法直接使用的,有時是因為尺寸要求,比如生產(chǎn)表面貼裝器件,器件本身的厚度就很小;還有的就是一些功率器件,如果晶圓太厚會造成散熱不良,所以必須將晶圓的厚度控制在能都接受的范圍。

一般情況下對于中功率分離器件,厚度大約在350 450微米之間。而對于集成電路,厚度還要小,有些已經(jīng)達到180微米甚至更薄Baid'文庫


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