Sierra的SmartTrak 100熱質量流量控制器是一款多氣體數字MFC,旨在提供您每次可依靠的平穩,穩定,準確和可重復的氣體質量流量控制。不受上游氣體溫度和壓力波動的影響,Sierra SmartTrak 100的氣體質量流量控制是直接而明確的。SmartTrak已獲得CE認證,可在您 的較大流量范圍(高達1000 slpm或更高)下使用,具有各種尺寸,工業防水外殼,工作壓力和溫度以及行業尺寸。
采用熱技術的直接質量流量+/- 0.5%滿量程精度。
多氣體數字質量流量控制器。
50 slpm的占地面積小,非常適合OEM。
主要標準的10點NIST校準。
所有清潔氣體,包括有毒和腐蝕性
高精度:滿量程的+/- 0.5%
精度:滿量程的+/- 1%
重復性:滿量程的+/- 0.2%
流量范圍從0-10 sccm到0-1000 slpm(nlpm)
更高和更低的流量范圍
壓力至500 psig(34.5 barg)
氣體/環境溫度32°F至122°F(0°C至50 C)
響應時間:300ms時間常數:2秒(典型值),在終值的±2%之內(包括建立時間),根據要求提供更快或更慢的速度
24 VDC電源
密封件:Viton,Neoprene,Karlez
316不銹鋼結構
包括模擬或數字信號:RS-232,RS-485(多點),0-20、4-20 mA; 0-5、1-5、0-10 VDC
數字通信: 基金會現場總線 和 Modbus RTU
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