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原理：利用高壓電離的方法，使空氣中的部分氧氣分解聚合為臭氧。臭氧發生器的核心技術和設備是發生器中的放電管，采用微間隙介質阻擋放電設計，系統運行電壓為6-8千伏。高頻輸出經升壓系統后產生正弦波高壓電，經電纜與發生器相連，在高頻高壓的作用下，放電間隙產生冷態等離子體放電生成臭氧。臭氧(化學分子式O3)又名三原子氧，因其有類似魚腥味的臭味而得名。當含氧氣的氣體通過兩個電極間的放電間隙時，部分氧氣分子(O2)會被轉化為臭氧(O3)從而實現臭氧制備。
當高壓電極上帶有變化的高電壓時，電極之間的放電間隙處會產生微放電，氧氣分子被分解為自由態的氧原子O，部分自由態的氧原子與未分解的氧氣分子重新結合生成臭氧(O3)即 O+O2=O3，被稱為“電暈放電”或“無聲放電”。目前，臭氧已廣泛用于水處理、空氣凈化、食品加工、醫療、醫藥、水產養殖等領域，臭氧作為強氧化劑、催化劑和精制劑而應用于化工、石油、造紙、紡織和制藥、香料工業。臭氧發生器是用于制取臭氧氣體(O3)的裝置。臭氧易于分解無法儲存，需現場制取現場使用(特殊的情況下可進行短時間的儲存)，所以凡是能用到臭氧的場所均需使用臭氧發生器。臭氧發生器在飲用水，污水，工業氧化，，食品加工和保鮮，醫藥合成，空間滅菌等領域廣泛應用。臭氧發生器產生的臭氧氣體可以直接利用，也可以通過混合裝置和液體混合參與反應。
脫硫就是脫去煙氣中的SO2(二氧化硫)，脫硝主要是脫去煙氣中的NOx(氮氧化物)，這兩種物質進入大氣會形成酸雨，酸雨對人類的危害非常大，所以現在國家一直在提倡環保，以煤炭為燃料的煙氣都含有這些物質，特別是火電廠，現在建火電廠都要同時建設脫硫，脫硝現在國家還沒有開始強制上。排放的二氧化硫已接近全社會排放總量的50%這一特點決定了控制燃煤排放的二氧化硫是我國二氧化硫污染控制的重點，控制二氧化硫排放量又是控制燃煤二氧化硫污染的主要突破口。
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