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FBM-160 氟離子濃度分析儀在半導(dǎo)體廠總排口的應(yīng)用

來源:哈希水質(zhì)分析儀器(上海)有限公司   2024年06月26日 11:26  

FBM-160 氟離子濃度分析儀在半導(dǎo)體廠總排口的應(yīng)用

背景介紹

上海市某半導(dǎo)體廠,專注于研發(fā)和制造專業(yè)應(yīng)用的晶圓。晶圓生產(chǎn)工藝復(fù)雜,其中蝕刻工序使用氫氟酸溶液進(jìn)行蝕刻、并用高純水清洗,在這個(gè)工序中產(chǎn)生了大量的高濃度含氟廢水,含氟廢水經(jīng)過加藥、混凝沉淀處理后達(dá)標(biāo)排放。

 

該半導(dǎo)體廠在總排口處安裝了一臺(tái)FBM-160 氟離子濃度分析儀。根據(jù)國標(biāo)《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB8978-1996)以及上海市環(huán)境保護(hù)局發(fā)布的地方標(biāo)準(zhǔn)《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB31),該半導(dǎo)體廠執(zhí)行三級(jí)標(biāo)準(zhǔn),其總排口的氟限值為 20mg/L

 

氟離子濃度分析儀的現(xiàn)場(chǎng)圖如下圖所示,控制器采用管式安裝,電極采用浸入式安裝。

 

FBM-160 氟離子濃度分析儀在半導(dǎo)體廠總排口的應(yīng)用


應(yīng)用情況

FBM-160 氟離子濃度分析儀采用氟離子選擇電極法,監(jiān)測(cè)方法符合國標(biāo) GB7484-1987。氟離子濃度分析儀結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,氟離子電極現(xiàn)場(chǎng)采用浸入式安裝,在無選配自動(dòng)清洗組件的前提下,每月人工清洗一次電極,三個(gè)月校準(zhǔn)一次電極。在正常維護(hù)條件下,每年更換一次氟離子電極。現(xiàn)場(chǎng)安裝方便,維護(hù)較簡(jiǎn)單,測(cè)量值均低于 20 mg/L,和實(shí)驗(yàn)室比對(duì)數(shù)據(jù)良好,符合用戶的測(cè)量要求。

 

總結(jié)

FBM-160 氟離子濃度分析儀采用國標(biāo)方法監(jiān)測(cè)——氟離子選擇電極法,不消耗試劑,可更換電極頭,減少維護(hù)費(fèi)用;安裝簡(jiǎn)單,可在現(xiàn)場(chǎng)采用浸入池中安裝,也可以在排口采用流通式安裝。可選配自清洗組件,減少用戶的人工清洗工作;具備多個(gè)量程,0~99.9 mg/L0~999 mg/L0~9990 mg/L,滿足含氟廢水進(jìn)排口的不同測(cè)量范圍需求。

 

FBM-160 氟離子濃度分析儀廣泛應(yīng)用于電子行業(yè)的含氟廢水監(jiān)測(cè),在正常維護(hù)下,能夠滿足用戶廢水總排口的測(cè)量需求。


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