手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號(hào)：chem17
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
在半導(dǎo)體制造中，英福康的真空控制產(chǎn)品可應(yīng)用于各種工藝步驟，確保精準(zhǔn)控制零件及設(shè)備生產(chǎn)所必需的真空條件。
并且，我們的產(chǎn)品技術(shù)在全球范圍的眾多客戶處都得到應(yīng)用與印證，是能夠幫助企業(yè)提高生產(chǎn)力、效率、正常運(yùn)行時(shí)間和產(chǎn)量的很好方案。
晶體拉制
在晶體拉制過(guò)程中，英福康的電容真空計(jì)系列可以控制拉制腔內(nèi)的工藝壓力，從而生長(zhǎng)出無(wú)瑕的硅晶體。這種精準(zhǔn)的壓力控制對(duì)于實(shí)現(xiàn)*佳晶體生長(zhǎng)至關(guān)重要，并有助于提高半導(dǎo)體材料的質(zhì)量和純度。
氧化/柵極電介質(zhì)和離子注入
在氧化/柵極電介質(zhì)和離子注入等工藝中，英福康的真空控制產(chǎn)品可確保穩(wěn)定的真空環(huán)境。電容真空計(jì)系列可監(jiān)控工藝壓力，而皮拉尼真空計(jì)和冷陰極真空計(jì)則可提供全系統(tǒng)壓力控制。這種細(xì)致的調(diào)節(jié)對(duì)于獲得理想的材料特性和摻雜精度至關(guān)重要，從而直接影響到半導(dǎo)體器件的性能。
光刻技術(shù)
在光刻工藝中，英福康真空控制解決方案（包括電容真空計(jì)和皮拉尼真空計(jì)）以及熱離子真空計(jì)和冷陰極真空計(jì)可實(shí)現(xiàn)工藝系統(tǒng)內(nèi)精準(zhǔn)的壓力控制。
真空元件可確保無(wú)泄漏連接，有助于提高光刻工藝的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。
蝕刻
在蝕刻工藝中，英福康的真空控制產(chǎn)品，特別是電容式真空計(jì)，可調(diào)節(jié)工藝壓力，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的材料去除。電容計(jì)、皮拉尼計(jì)、熱離子計(jì)和冷陰極的組合則可實(shí)現(xiàn)全系統(tǒng)的壓力控制，以確保蝕刻的一致性和高工藝可重復(fù)性。
此外，采用了光學(xué)氣體分析裝置的 Augent® OPG550 能夠監(jiān)測(cè)蝕刻過(guò)程中使用的氣體成分，進(jìn)一步確保工藝穩(wěn)定性和精準(zhǔn)的材料去除。
CVD、PVD、ALD、EPI 和 RTP
在 CVD、PVD、ALD、EPI 和 RTP 等工藝中，英福康的真空控制產(chǎn)品在調(diào)節(jié)工藝壓力、確保材料精準(zhǔn)沉積和開(kāi)發(fā)方面發(fā)揮著重要作用。
電容真空計(jì)系列可監(jiān)控過(guò)程壓力，而熱離子計(jì)、冷陰極和真空配件則有助于進(jìn)行穩(wěn)定的系統(tǒng)壓力控制，提高過(guò)程均勻性和設(shè)備性能。我們的光學(xué)氣體分析儀 Augent® OPG550 能夠監(jiān)控材料沉積過(guò)程中的氣體成分，確保*佳條件。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購(gòu)中心