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光刻烤膠機的技術介紹

來源:深圳市博大精科技實業有限公司   2024年05月29日 10:55  
  光刻烤膠機是一款緊湊且易于使用的光刻熱板。它用于光刻工藝的預烘烤,后烘烤和硬烘烤。該產品具有較高的烘烤速度,均勻性,較高的溫度控制精度和高度可重復的實驗結果。烘烤控制設計用于預烘烤,后烘烤和硬烘烤,以進行光蝕刻過程。
  光刻烤膠機的核心技術主要體現在其精確的光刻和烤膠工藝上:
  1、光刻工藝:利用光化學反應將電路圖案精確地轉移到硅片上。通過高精度的光學系統和精密的機械結構,實現了對光刻過程的精確控制,從而保證了電路圖案的準確性和一致性。
  2、烤膠工藝:將光刻膠固定在硅片上,形成穩定的電路結構。通過精確控制烤膠的溫度和時間,確保光刻膠能夠均勻、穩定地附著在硅片上,從而提高產品的質量和可靠性。
  在使用該設備時需要嚴格遵守操作規程,注意溫度和時間的控制,以及進行定期的設備維護,可以確保硅片上的感光膠得到處理效果,為后續的光刻工序打下堅實的基礎。

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