1. 真空階段：首先，通過真空泵抽出滅菌室內的冷空氣，使室內處于負壓狀態。這一步驟是為了排除器械內的空氣以及微孔中的空氣，為后續的蒸汽穿透做準備。

2. 預熱階段：達到一定的真空度后，開始通入蒸汽對器械進行預熱。預熱有助于提高器械表面溫度，并為接下來的高溫蒸汽滅菌做準備。

3. 脈動階段：在真空和蒸汽的交替作用下，通過反復的真空和蒸汽注入，排出器械內部的冷空氣，并使高溫蒸汽深入器械內部結構，達到滅菌目的。

4. 滅菌階段：在器械內部空氣被排出并充滿飽和蒸汽后，滅菌柜內的溫度和壓力會升高到一定水平（通常為121-134℃的溫度和約2bar的壓力），并保持一段時間（通常為數分鐘至半小時不等），以確保所有微生物，包括芽孢，被有效殺滅。

5. 干燥階段：滅菌完成后，通過真空泵抽出蒸汽并使用干燥劑或熱交換器降低濕度，完成干燥過程，避免微生物再次污染。

整個過程通過電腦控制，確保滅菌、物品干燥，并且總滅菌時間短。