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X射線衍射儀三個物理量：衍射譜上可以直接得到的有三個物理量，即衍射峰位置(2θ)、衍射峰強度(I)及衍射峰形狀(f(x))。粉末衍射可解決的任何問題或可求得的任何結構參數一般都是以這三個物理量為基礎的。
X射線衍射儀主要技術參數:一臺好的儀器應能得到準確(測得的數值與其真值相符)并精確(測量重復性好)的2θ、I及f(x)，需 要考慮下列幾個主要技術參數：
1、X射線發生器的穩定度：這不僅關系到所測衍射強度的準確可靠，而且關系到所有部件的準確和穩定?，F代粉末衍射儀的光源穩定性一般在外電源變化10%以內，輸出變化0.01%以內。
2、X射線管的功率：對于密封式X射線管，Cu靶一般為2kw，Ag、Mo、W等靶一般大于2kw，而對Co、Fe、Ni等靶則小于2kw。對于轉靶，常用的有12kw和18kw。
3、單色器的效率：應不小于25%。
4、探測器的效率：視品種而異。
5、計數的線性范圍：關系到強度測量的準確性，一般在 cps。有許多儀器附加了校正軟件，宣稱可以達到 cps。
6、衍射角(2θ)的測量準確度和精確度。
7、分辨率：常用的Si(311)衍射峰的半高寬來代表。對于一般實驗室粉末衍射儀，此值約在0.05°~0.1°之間。
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