如何測(cè)量電阻率體積電阻率

來(lái)源：深圳市京都玉崎電子有限公司 2024年04月11日 17:20

體積電阻率和表面電阻率

使用該電阻率校正系數(shù)，可以使用[公式3.5.1]和[公式3.5.2]計(jì)算體積電阻率和表面電阻率。

體積電阻率（單位：Ω·cm）是單位體積的電阻，根據(jù)領(lǐng)域的不同，表達(dá)方式也不同，

例如材料領(lǐng)域的體積電阻率、電子領(lǐng)域的比電阻、物理領(lǐng)域的電阻率等。

特定于（科學(xué)年表中列出）的物理量，用作許多材料電導(dǎo)率的絕對(duì)量度。

另一方面，表面電阻率（單位：Ω/□、Ω/sq.，發(fā)音為歐姆每平方）是單位面積的電阻，

也稱為方塊電阻或簡(jiǎn)稱為表面電阻，用于涂層、薄膜等。它用于領(lǐng)域應(yīng)特別注意表面電阻，

因?yàn)樗赡芘c使用[公式3.5.2]轉(zhuǎn)換之前的電阻相混淆。

使用四點(diǎn)探針?lè)ǖ碾娮杪蕼y(cè)量長(zhǎng)期以來(lái)一直用于測(cè)量硅片，對(duì)于無(wú)限大（和無(wú)限薄）的樣品已確定值為 4.532。

我們針對(duì)矩形和圓形樣品確定了任意尺寸和測(cè)量位置的校正系數(shù)，并進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。

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