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冷鏡式露點儀是由制冷系統、光電平衡系統、溫度測量系統組成，通過測量露點傳感器鏡面上的露(霜)與氣體中的水蒸氣達到平衡時的溫度，獲得濕度量值的儀器。該露點儀度高、重復性好、測試時間短、操作方便、便于攜帶，適合各種現場測量使用。廣泛適用于電力系統、科研計量、氣體行業、裝備制造、鋼鐵冶金、石油化工等領域。
冷鏡原理是基本的濕度測量方法，對露點進行直接測量。冷鏡式露點儀的優點是精度高，響應快，反應敏捷，重復性好，可以做到‘零’漂移； 通過冷鏡式露點儀參與環境控制，可以有信心確保關鍵環節的濕度參數盡在掌握之中。
冷鏡露點儀工作原理：
密析爾式冷鏡露點傳感器有一個微型的拋光金屬鏡面，使用固態珀耳帖電加熱泵將其冷卻至被測氣體露點溫度。
當溫度降低到該露點時，鏡面會形成冷凝。
一個由紅色發光二極管高增益光電探測器組成的電光回路檢測冷凝的形成。
鏡面反射光強度減少量，作為儀表控制電路調整施加于珀耳帖的冷卻功率的反饋輸入，這樣鏡面就被控制在平衡狀態中。
蒸發速度與冷凝速度以相同的速率發生。
此時(由鉑阻溫度計)測量的鏡面溫度就等于被測氣體的露點溫度。
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