隔離式測壓元件的應用廣泛性

電子壓力測量是指使用 傳感器測量的壓力并將其轉換為電信號進行記錄的過程。由于大的輸出信號和完備的制造工藝，以及多年積累的經驗， 壓阻技術已在壓力測量領域成為一種通用的技術。

電阻式壓力測量以電阻變化作為測量依據，電阻值隨待測壓力的變化而變化。測量電阻元件集成在壓敏器件中，根據壓力變化，它們要么拉伸（電阻增大），要么壓縮（電阻減?。?。壓力越大，膜片變形越大，這意味著電阻變化的程度直接取決于壓力。此外，在壓阻電阻器中，拉伸或壓縮時產生的機械張力也會導致導電性的變化。這種壓阻效應基于原子位置的位移，直接影響電荷傳輸。導電性變化引起的電阻變化可能比純變形引起的電阻變化要大得多。

壓阻式傳感器硅片的基礎是厚度小于1毫米的晶體硅圓盤，稱為晶圓。在晶圓表面的某些特定點會注入一些其他原子。硅中的這些摻雜區域形成壓阻電阻器。在隨后的步驟中，然后以直接在硅中形成膜片的方式在局部基礎上對晶圓進行減薄。如果膜片變形，則電阻值會根據布放位置的不同增加或減少。之后，硅的背面牢固地鍵合到玻璃上。對于絕對壓力傳感器，

玻璃與硅片之間會形成一個密封的真空區域作為參考側。測量相對壓力時，

玻璃后方會開一個參考壓力孔。

為了將傳感器芯片與待測介質隔離，傳感器芯片安裝在一個壓力密封的

金屬外殼中，該外殼充滿油，前端用薄膜片密封。然后，壓力通過該膜片

和作為傳輸介質的硅油作用于傳感器芯片。