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目前所用各種型式的氣體流量計，絕大部分是計量氣體的體積流量。由于氣體的體積隨溫度與壓力的不同而變動，所以常發生較大的計量誤差。如工作壓力經常變動，更使計量發生困難。
氣體質量流量計的主要特點是不受溫度與壓力變動的影響，其顯示讀數直接指示氣體的質量流量。它具有一系列優點：
1. 在常壓、高壓或負壓的條件下均可選用。
2. 可在常溫、100度，甚至又高的溫度下正常運行。
3. 適用的量程范圍寬，既能用于實驗室內小流量的場所也可用于工廠生產中的大型裝置。
4. 流量計的阻力降極微。
5. 抗介質腐蝕的能力強。
6. 計量精度高。
7.輸出電訊號，可遠傳顯示，還便于與其他儀表配合后實現流量記錄、自控或累計。
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