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場發射掃描電子顯微鏡是一種高分辨率、高性能的電子顯微鏡，具有超高分辨率和強大的圖像處理能力。它利用場發射電子槍產生電子束，通過電子束在樣品表面掃描，收集并處理二次電子信號，以獲取樣品表面的顯微圖像。
Apreo場發射掃描電子顯微鏡是研究納米顆粒、催化劑、粉末和納米器件的平臺，而不會降低磁性樣品性能。傳統的高分辨率 SEM 透鏡技術分為兩類：磁浸沒或靜電。FEI 將兩種技術結合到一個儀器中。這樣做所產生的成效遠遠超過任一種鏡筒的個體性能。兩種技術均使電子束形成細小探針，以提高低電壓下的分辨率，并使信號電子進入鏡筒。通過將磁透鏡和靜電透鏡組合成一個復合透鏡，不但提高了分辨率，還增加了*的信號過濾選項。靜電-磁復合末級透鏡在 1 kV 電壓下的分辨率為 1.0 nm(無電子束減速或單色器)。
Apreo 擁有透鏡內背散射探測器 T1，其位置緊靠樣品以便盡可能多地收集信號，從而確保在很短的時間內采集數據。與其他背散射探測器不同，這種快速的探測器始終可保證良好的材料對比度，在導航時、傾斜時或工作距離很短時也不例外。在敏感樣品上，探測器的價值凸現出來，即使電流低至幾 pA，它也能提供清晰的背散射圖像。復合末級透鏡通過能量過濾實現更準確的材料對比度以及絕緣樣品的無電荷成像，進一步延伸了 T1 BSE 探測器的潛在價值。它還提供了流行選項來補充其探測能力，例如定向背散射探測器(DBS)、STEM 3+ 和低真空氣體分析探測器 (GAD)。所有這些探測器都擁有的軟件控制分割功能，以便根據需求選擇最有價值的樣品信息。
每個 Apreo 都按標準配備各種用以處理絕緣樣品的策略，包括：高真空技術，例如 SmartSCAN™、漂移補償幀積分(DCFI) 和電荷過濾。對于最有挑戰性的應用，Apreo 可提供電荷緩解策略。其中包括可選的低真空(最高為 500 Pa)策略，通過經現場驗證的穿鏡式差分抽氣機構和專用低真空探測器，不但可以緩解任何樣品上的電荷，還能提供的分辨率和較大的分析電流。
隨著分析技術的使用越來越常規化，Apreo 倉室經過全新設計，以便更好地支持不同的配件和實驗。倉室最多容納三個 EDS/WDS 端口，可實現快速敏感的 X 射線測量、共面EDS/EBSD/TKD 排列并與(冷凍)CL、拉曼、EBIC 和其他技術兼容。
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