光電檢測熱電制冷鏡面冷凝式精密露點儀，主要由三大部分組成：

  （1）高重復性的鏡面控溫伺服機構；

  （2）準確地測量鏡面溫度的溫度測量系統；

  （3）判斷以下露點時，鏡面上生成的是霜（冰）還是露（過冷卻水）的裝置。

  露點儀工作過程基本是：被測量氣體通過露點測量室時掠過冷鏡面，當鏡面溫度高于該氣體的露點溫度時，鏡面呈干燥狀態，此時，發光二極管發出的光照在鏡面上，幾乎全反射，由光電傳感器感應到并輸出光電信號，經控制回路比較、放大，驅動熱電泵（由一級或數級 Peltier 元件組成），對鏡面制冷，當鏡面溫度降至樣氣的露點溫度時，鏡面上開始結露（或霜），光照在鏡面上后出現漫反射，光電傳感器感應到的反射光信號隨之減弱，此變化經控制回路比較、放大后調節熱電泵激勵，使其制冷功率減小，這樣通過自動控制使冷鏡面上的露（或霜）與氣體中的水蒸氣呈相平衡狀態，此時通過鏡面冷凝狀態觀察鏡，可以判斷鏡而上的冷凝物是液態的露（呈圓或橢圓形）還是固態的霜 （ 呈晶形），鏡面溫度由一緊貼在冷鏡面下方的鉑電阻溫度傳感器感應，準確測量出鏡面的溫度（即露或霜層的溫度），從而獲得氣體的露點溫度。

  從上述工作過程，可清楚地看出露點儀屬于精密的濕度測量儀，檢定中需要注意的事項、要求的條件比較多。