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為什么說環境掃描電鏡是一種“特殊”的掃描電鏡?

來源:賽默飛電子顯微鏡   2023年11月09日 13:47  
環境掃描電鏡(ESEM)是一種特殊的掃描電鏡,可以在自然狀態(非真空狀態)下對樣品進行成像。原理是利用電子束掃描樣品表面,產生多種物理信號,如二次電子、背散射電子等,從而獲取樣品的形貌、成分等信息。相比傳統的掃描電鏡,ESEM可以在較低的真空狀態下工作,甚至可以在水汽或其他氣體環境中工作,從而實現對非導電、非導熱樣品的直接成像。

環境掃描電鏡的主要特點:

1、動態原位實驗

對自然狀態下的材料進行原位研究:具有環境模式的高分辨場發射掃描電鏡 (ESEM)。原位分析的溫度范圍為 -165°C 至 1400°C,搭配使用各種冷臺和熱臺。

2、減少樣品制備時間

低真空和ESEM環境掃描電鏡功能可對非導電和/或含水樣品進行無電荷/無脫水成像和分析。

3、樣品觀察

在各種操作模式下均可實現 SE 和 BSE 同時成像。

4、優異的分析能力

優異的分析能力來自可以最多同時使用 3 個 EDS 檢測器的腔室,并具有對稱180°的 EDS 接口、WDS接口以及和EDS幾何共面的EBSD接口。對非導電樣品的出色分析:在低真空條件下,Quattro ESEM高溫掃描電鏡的減小電子束散射技術可實現準確的 EDS 和 EBSD。

5、靈活且精確

靈活且精確的優中心樣品臺,傾斜范圍達 105°,可從各個角度觀察樣品。

6、易于使用的軟件及創新性選項

直觀易用且帶有用戶指南和撤消功能的軟件。使用更少的鼠標點擊,更快速地完成工作。新的創新選項,包括可伸縮 RGB 陰極發光 (CL) 檢測器、1100°C 高真空加熱載物臺和 AutoScript 4 軟件(基于 Python 的API腳本工具)。


環境掃描電鏡的應用非常廣泛,主要應用于材料科學、生物學、醫學等領域。例如,可以用于研究生物材料的表面結構和性能,觀察細胞和組織的生長過程和形態變化,分析藥物和生物分子的相互作用等。此外,ESEM還可以用于環境科學領域,如對土壤和水樣的成分和結構進行分析,評估環境污染的程度和影響等。


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