露點儀是能直接測出露點溫度的儀器。使一個鏡面處在樣品濕空氣中降溫，直到鏡面上隱現露滴(或冰晶)的瞬間，測出鏡面平均溫度，即為露(霜)點溫度。它測濕精度高，但需光潔度很高的鏡面，精度很高的溫控系統，以及靈敏度很高的露滴(冰晶)的光學探測系統。使用時必須使吸入樣本空氣的管道保持清潔，否則管道內的雜質將吸收或放出水分造成測量誤差。
露點儀所用濕度傳感器基于電容性技術，具有反應快、抗腐蝕、性能穩定、溫度系數小的特點，可為生產過程中對水份含量有嚴格控制要求的場合提供準確、經濟而且通用的解決方案，能夠滿足各種工業流程的控制要求。

濕度的測量方法有很多，不同的測量方法，側重于不同的濕度單位，當然也可以計算轉換成其他的濕度單位。電容式濕度傳感器直接測量的是相對濕度和環境溫度，可以計算出露點值；阻抗式濕度傳感器和冷鏡式露點儀都直接測量的是露點值，通過環境溫度可以計算出相對濕度。濕度范圍:通常來說，當濕度趨向于低濕范圍的時候，使用露點單位更加精確合理。因為在低濕情況
下，相對濕度已經不能夠準確反映濕度的變化， 而露點仍然可以非常精確的對應出微小的濕度變化，在其他濕度范圍內，露點和相對濕度都可以并用。