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七星的氣路系統(tǒng),您了解多少?

來源:北京華丞電子有限公司   2023年09月11日 08:47  

氣路系統(tǒng)簡介


  

     氣路系統(tǒng)產(chǎn)品應(yīng)用于光伏及半導(dǎo)體領(lǐng)域,在設(shè)備工藝管路中實(shí)現(xiàn)對流體的相關(guān)控制(開關(guān)、減壓、過濾、分流、流量控制等),七星流量計(jì)的氣路系統(tǒng)可根據(jù)客戶需求提供多種解決方案。

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                        氣路系統(tǒng)

 

應(yīng)用場景

 

一、半導(dǎo)體領(lǐng)域

     在集成電路裝備研發(fā)和制造中,氣路系統(tǒng)肩負(fù)著工藝氣體向腔室的輸送、流量設(shè)定、控制特定工藝過程的重要任務(wù)。例如調(diào)壓前段供氣的壓力,對供氣進(jìn)行過濾器,并且氣路中可能會直接接觸特氣等介質(zhì),因此對潔凈度有較高要求。

      產(chǎn)品選用半導(dǎo)體高純材料,對于顆粒度有著嚴(yán)格要求。適用于絕大多數(shù)半導(dǎo)體制程設(shè)備。

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二、光伏領(lǐng)域

     在光伏裝備研發(fā)和制造中,氣路系統(tǒng)肩負(fù)著向長晶腔室輸送保壓氣體,保持爐內(nèi)壓力穩(wěn)定的重要任務(wù)。

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產(chǎn)品優(yōu)勢

 

 

1、IGS 設(shè)計(jì)能力:七星流量計(jì)為國內(nèi)多家半導(dǎo)體客戶定制開發(fā)IGS產(chǎn)品解決方案,在IGS的Block-器件拼搭設(shè)計(jì)及選型等方面積累諸多經(jīng)驗(yàn)。

2、全套零部件的解決方案:根據(jù)客戶需求進(jìn)行器件的選,并保證交付的連續(xù)供應(yīng)。

3、高純焊接能力:根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)及ASTM標(biāo)準(zhǔn)搭建,可滿足高純凈半導(dǎo)體級焊接需求。

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                     大理石平臺及三坐標(biāo)顯微鏡 

 

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                     焊縫檢測結(jié)果     

 

 


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