全新上照式設計,搭載全自動移動平臺和影像識別功能,既能檢測納米級厚度、微小樣品和凹槽異形件的膜厚,也可滿足微區RoHS檢測及全元素成分分析。
1)搭載微聚焦加強型X射線發生器和*光路轉換聚焦系統,最小測量面積達0.03mm2
2)擁有無損變焦檢測技術,手動變焦功能,可對各種異形凹槽件進行無損檢測,凹槽深度范圍0-90mm
3)核心EFP算法,可對多層多元素,包括同種元素在不同層都可快、準、穩的做出數據分析(釹鐵硼磁鐵上Ni/Cu/Ni/FeNdB,精準檢測第一層Ni和第三層Ni的厚度)
4)配備全自動可編程移動平臺,可實現無人值守,對成百上千個樣品進行全自動檢測
5)涂鍍層分析范圍:鋰Li(3)- 鈾U(92)
6)成分分析范圍:鋁Al(13)- 鈾U(92)
7)RoHS、鹵素有害元素檢測
8)人性化封閉軟件,自動判斷故障提示校正及操作步驟,避免誤操作
9)標配四準直器自動切換
10)配有微光聚集技術,最近測距光斑擴散度小于10%
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