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便攜式動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)儀的技術(shù)分析

來源:成都華衡儀器有限公司   2023年08月17日 11:04  
  一、一種用于機(jī)械工程領(lǐng)域的計(jì)量?jī)x器,主要功能測(cè)量并檢驗(yàn)光束線機(jī)械部件的直線與角等線性位移量的精度、分辨率和重復(fù)精度;測(cè)量并檢驗(yàn)光束線機(jī)械部件的直線度、平行度等形狀和定向公差。
 
  二、技術(shù)指標(biāo):
 
  1、直線位移測(cè)量:測(cè)量范圍:0~40米測(cè)量精度:±1.5ppm(20°±0.5°);±1.7ppm(15~25°);±3.0ppm(0~40°)分辨率:10nm(標(biāo)準(zhǔn)值);1nm(均值)最高測(cè)量速度:±0.7m/s;
 
  2、角位移測(cè)量:測(cè)量范圍:±10°(繞光學(xué)基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn));測(cè)量精度:±0.2%測(cè)量值;
 
  3、平面度測(cè)量測(cè)量范圍:0~15m測(cè)量精度:±0.2%測(cè)量值。
 
  三、原理介紹:動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)儀(高配)是基于質(zhì)量流量計(jì)控制流量配比稀釋鋼瓶標(biāo)氣nmol/mol~μmol/mol(ppb~ppm)級(jí)的標(biāo)氣,基本單元為兩個(gè)高精確度的質(zhì)量流量控制器,臭氧發(fā)生器、臭氧光度計(jì)。光度計(jì)測(cè)量的基本原理是Beer-Lambert關(guān)系式,在給定溫度、壓力下,一定光程內(nèi)一定濃度氣體對(duì)特定波長(zhǎng)的光強(qiáng)的吸收。
 
  四、應(yīng)用:動(dòng)態(tài)氣體校準(zhǔn)儀可以提供濃度的各種氣體。這些不同濃度的氣體被用來對(duì)各種測(cè)量?jī)x器進(jìn)行校準(zhǔn),包括校零,精密度檢查,單點(diǎn)檢查,審核及多點(diǎn)檢查。所有1046的組件(包括質(zhì)量流量控制器,O3發(fā)生器,電源,電磁閥)一直以來都被用于儀器校準(zhǔn),并以其準(zhǔn)確性和可靠性而稱。

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