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FIB雙束電鏡的原理和工作方式是什么?

來源:北京歐波同光學(xué)技術(shù)有限公司   2023年07月12日 10:00  
  FIB雙束電鏡是一種先進(jìn)的顯微鏡技術(shù),結(jié)合了離子束和電子束的特點和功能。它可以同時提供離子束刻蝕和電子顯微鏡成像功能,廣泛應(yīng)用于納米加工、樣品制備和三維顯微鏡觀察等領(lǐng)域。
 
  FIB雙束電鏡的原理基于兩個主要組件:離子槍和電子顯微鏡。
 
  離子槍通過加速電場將離子束產(chǎn)生并聚焦到非常小的直徑,通常在幾奈米至數(shù)十納米的范圍內(nèi)。離子束主要由高能離子組成,如加速電壓可達(dá)幾千伏特。離子束可以通過控制離子束的掃描和剝蝕模式對樣品進(jìn)行刻蝕、切割和修復(fù)等加工操作。這對于納米器件的制造以及樣品的準(zhǔn)備具有重要意義。
 
  電子顯微鏡部分則使用電子束來進(jìn)行成像。電子束經(jīng)過磁透鏡系統(tǒng)的聚焦和激發(fā)后,在樣品表面或內(nèi)部與樣品中的原子或分子相互作用。這些相互作用導(dǎo)致電子的散射、透射和反射等變化,從而形成顯微鏡圖像。電子顯微鏡可以提供高分辨率的顯微鏡圖像,并在納米尺度上顯示樣品的細(xì)節(jié)結(jié)構(gòu)。
 
  FIB雙束電鏡的工作方式通常涉及以下步驟:
 
  1、樣品加載:將待觀察或加工的樣品放置在臺架上,并確保其穩(wěn)定和準(zhǔn)確定位。
 
  2、刻蝕操作:通過控制離子束的掃描模式和能量,在樣品表面選擇性地剝蝕材料,以實現(xiàn)刻蝕、切割或修復(fù)等加工操作。離子束可以精確地去除或改變樣品的某些區(qū)域。
 
  3、電子顯微鏡成像:在進(jìn)行刻蝕操作的同時,使用電子束對樣品進(jìn)行成像。電子束與樣品相互作用產(chǎn)生的信號會被檢測器捕捉,并轉(zhuǎn)換為圖像顯示。這些圖像可以提供有關(guān)樣品表面形貌、組織結(jié)構(gòu)和元素分布等信息。
 
  4、控制和調(diào)整:操作人員可以根據(jù)需要調(diào)整離子束和電子束的參數(shù),如聚焦、加速電壓和掃描模式等,以優(yōu)化成像或加工效果。
 
  FIB雙束電鏡的優(yōu)點在于它能夠在同一設(shè)備中結(jié)合離子束刻蝕和電子顯微鏡成像的功能。這使得樣品的準(zhǔn)備和觀察變得更加高效和方便。同時,由于具有高分辨率的電子顯微鏡功能,對于納米尺度的觀察和操作非常有用,比傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡和離子束刻蝕技術(shù)更加靈活和精確。

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