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鎢燈絲掃描電鏡的燈絲壽命相對較短，一般只有幾十個小時。燈絲壽命直接影響掃描電鏡運行成本、有效運行時間、儀器性能等。因此日常維護保養要格外注意燈絲的保養。
1.保持鏡筒的高真空度
隨時注意鏡筒是否存在微小泄露，同時保證各級泵的性能，必要時要更換泵油。再有就是待觀察樣品應盡量干燥、無揮發性物質。
2.適當增加燈絲高度
燈絲工作時發射電子束，燈絲的發射束流與燈絲的加熱電流和燈絲高度有關，燈絲高度越大，則燈絲達飽和點的工作溫度就越低，燈絲表面蒸發得也越慢。因此在保證理論高度的條件下，我們可以將燈絲高度適當增加。新型掃描電鏡一般配有幾個可選燈絲墊片，其型號不一樣，厚薄也不一樣。在滿足觀察要求的情況下，我們可以選擇厚一點的墊片以增加燈絲高度，減少燈絲飽和電流。
3.及時手動調整燈絲電流
在掃描電鏡使用過程中，應經常觀察燈絲的飽和程度，當發現燈絲電流不在飽和狀態時，適當手動調整燈絲電流，使燈絲處于飽和狀態。另外新型掃描電鏡電子槍的調整一般分全自動調整和半自動調整，我們一般應選擇半自動調整。否則，當自動調整電子槍時，燈絲電流也將一起調整且長時間處于過大電流，極大地消耗燈絲，嚴重影響燈絲壽命。
4.準確對中燈絲
安裝、更換新燈絲時仍需檢查燈絲的對中情況，最好將安裝好的燈絲組件放在解剖鏡下再檢查一下，看燈絲是否居中，否則很容易導致燈絲亮度偏暗，而由此操作者又會增加偏壓或電流來提高亮度，損傷燈絲。
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