淺析fei掃描電鏡的工作方式和操作流程

來源：賽默飛電子顯微鏡 2023年07月09日 11:43

　　fei掃描電鏡是一種高分辨率的電子顯微鏡，它利用電子束而不是光束來形成圖像。下面是fei掃描電鏡的工作方式和操作流程的概述。

　　1、準備樣品：首先，需要準備要觀察的樣品。樣品通常需要被切割、研磨、涂覆導(dǎo)電材料或冷凍處理等預(yù)處理步驟，以便在FE-SEM中進行觀察。樣品也可以是固體、粉末、薄片、纖維等不同形式。

　　2、投射電子束：電子槍生成高能電子束。這個電子束通過一個稱為“透鏡系統(tǒng)”的裝置來控制和聚焦。透鏡系統(tǒng)由多個磁透鏡組件組成，用于聚焦和形成非常小的束斑。

　　3、掃描樣品表面：樣品放置在一個可移動的樣品臺上。樣品臺可以水平和垂直移動，以便對樣品進行精確定位。一旦樣品定位正確，電子束開始在樣品表面上進行掃描。

　　4、探測信號：當電子束照射到樣品表面時，與電子相互作用的產(chǎn)生多種信號。常見的信號包括二次電子和反射電子。這些信號被稱為“顯微鏡圖像”，可以提供關(guān)于樣品表面形貌、元素分布或晶體結(jié)構(gòu)等信息。

　　5、接收和處理信號：使用一系列探測器來接收不同類型的信號，并將其轉(zhuǎn)換成電子圖像。例如，二次電子探測器用于產(chǎn)生樣品表面形貌圖像，而反射電子探測器用于獲取更深入的信息，如材料的組成和晶體結(jié)構(gòu)。

　　6、形成圖像：接收到的信號經(jīng)過放大、濾波和數(shù)字化處理后，傳送到顯示器上形成圖像。通過調(diào)整掃描參數(shù)(如電子束能量、聚焦、掃描速度等)，可以獲得所需的圖像對比度和分辨率。

　　7、分析和解釋圖像：一旦獲得了圖像，研究人員可以對圖像進行進一步的分析和解釋。他們可以觀察樣品的微觀結(jié)構(gòu)、孔隙性質(zhì)、晶體取向等，并根據(jù)需要進行定量測量和形態(tài)分析。

　　8、數(shù)據(jù)記錄和保存：FE-SEM通常配備有數(shù)據(jù)記錄和保存的功能，可以將觀察到的圖像和相關(guān)信息保存在計算機或其他儲存設(shè)備中。這樣，研究人員可以隨時回顧、比較和分享結(jié)果。

　　fei掃描電鏡廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生命科學(xué)、納米技術(shù)等領(lǐng)域，幫助研究人員獲得高分辨率的表面形貌和微結(jié)構(gòu)信息。操作需要一定的專業(yè)知識和技能，以確保樣品的準備和操作步驟正確無誤，并獲得可靠和準確的顯微圖像。

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