精密真空蒸發鍍膜機的特點及注意事項

來源：陽明量子科技（深圳）有限公司 2023年07月05日 13:52

　　精密真空蒸發鍍膜機本產品適用于高等院校、科研單位、研究所和*企業進行各種材料表面精密鍍膜的研發，試樣和小批量重復性制備。

　　特點：

　　1、集成度高：整套設備集成一級，二級真空泵，冷卻水循環，內嵌一體化彩色觸摸屏，觸摸控制不同真空泵閥門的通斷，不同蒸發舟的電流大小。節省實驗室空間。

　　2、實時監控：腔內配有自主研發的精密壓電陶瓷膜厚探頭，實時監控鍍膜表面的膜厚，檢測精度可達1埃/秒(0.1nm/s)。

　　3、多源蒸鍍：配有三組蒸發源，蒸發隔板，支持在真空中切換蒸發源，實現不同蒸發源多層蒸鍍；支持鉬，鎢蒸發舟。

　　真空蒸發鍍膜機安全操作注意事項：

　　1、真空電鍍機操作員要穿著整潔，袖口扣緊(佩戴袖套)，上衣下擺不能敞開，不得穿拖鞋、高跟鞋；

　　2、檢查電路各控制開關能否正常斷開閉合，電壓指示380±20V；

　　3、檢查各螺釘處連接是否牢固，電控柜、主機的連接線有無松脫現象、接地是否良好；所有電器的開關在零或者“關”的位置上；

　　4、檢查鍍膜機室內不銹鋼擋板的插銷是否牢固，角部有無彎曲翹曲等變形情況；

　　5、檢查水壓、氣壓是否正常；水、油、氣是否有漏滴現象；

　　6、設備中途停水時，應立即關閉擴散泵、粗抽泵、羅茨泵，讓維持泵繼續運行；

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