聚焦離子束掃描電子顯微鏡雙束系統(以下簡稱雙束電子顯微鏡)是指同時具備聚焦離子束(FIB)和掃描電子顯微鏡(SEM)功能的系統。就是把FIB系統和傳統掃描電子顯微系統按一定的角度同時裝在一個裝置上,把試樣調節到共心高度位置。這就使得試驗時可通過轉動試樣臺使試樣表面與電子束或者離子束垂直,從而最終達到對電子束進行實時觀測和對離子束進行切割或者微加工等效果。
FEI Scios DualBeam 雙束電子顯微鏡是一款超高分辨率 DualBeam™ 分析系統,能為包括磁性材料在內的眾多樣本提供出色的二維和三維性能。FEI Scios 的創新功能可提高通量、精度與易用性,非常適于學院、政府和工業研究環境中的納米量級研究與分析。
高級檢測技術是 FEI Scios 的核心技術。透鏡內 FEI Trinity™ 檢測技術能夠同時收集所有信號,既節省了時間還能形成鮮明的對比度,從而有助于采集盡可能多的數據。創新的透鏡下同心后散射檢測器能提高效率,使您可以根據信號的角分布選擇信號,從而輕松分離材料和形態對比度,即使著陸能量為 20 eV 也是如此。
FEI Scios DualBeam 雙束電子顯微鏡特別適合用于金屬、復合物和涂層等眾多材料,能夠:
執行高分辨率、高對比度成像,對磁性樣本也不例外
使用的 Trinity 檢測套件同步檢測材料、形態和邊緣對比度,從而分析材料的全部屬性
借助漂移抑制光刻,無需制備樣本即可制作具有位置特異性的切片,甚至可以對非導電材料進行操作
生成三維數據立方體確定金屬中夾雜物的大小和分布,或對裂紋尖部各個方向的應力和應變進行分析
搭配 EasyLift™ 可快速可靠地制備高質量樣本,而且只需最小的電子束能量即可獲得最高質量的 S/TEM 結果
針對 DealBeam TM 常見應用提供的“用戶指南”和逐步工作流,使得任何經驗水平的操作員都能即刻上手
有效的生物成像需要使用能夠支持眾多不同應用且不會降低對比度和分辨率的多功能設備。FEI Scios 是一款特別易于使用且能力出眾的儀器,能使您的眾多不同應用和工作流更具靈活性,功能更強大,而且借助高效和增值工作流, Scios 能讓您在較短時間內獲得較為準確的結果。
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