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3D光學干涉輪廓儀中的數據處理與分析方法

來源:昆山瑞塞奇精密儀器有限公司   2023年06月25日 11:24  
    3D光學干涉輪廓儀廣泛應用于制造、機械加工、電子、航空航天等領域。在實際應用中,所得到的原始數據需要進行處理和分析,以得到更為準確而詳盡的表面形貌特征。在此,我們就介紹其中的數據處理和分析方法。
 
  一、數據處理
 
  由3D光學干涉儀得到的表面形貌數據是一組二維圖像,通常會包括多組數據。在數據處理中,需要進行以下處理:
 
  1.偽彩色映射:將不同高度值的灰度圖像映射到不同顏色的曲面圖上,增強顯示效果,更加直觀。
 
  2.圖像平滑:對于原始數據中存在的較小度數高頻噪聲,需要采用低通濾波器進行平滑處理,去除噪聲干擾,使得曲面圖更加清晰、平滑。
 
  3.數據矯正:儀器可以呈現數字化數據,需要從儀器原始數據中提取樣品實際尺寸和形狀,進行數據矯正。
 
  二、數據分析
 
  在進行數據分析時,需要對處理后的數據進行分析和計算。
 
  1.表面粗糙度:采用表面高度差和均方根的定義。
 
  2.表面采樣間距:分析采樣間距及其對表面形貌誤差的影響,確定采樣間距。
 
  3.法線向量:計算出曲面的法線向量,進而確定曲面的任意點上的切線平面及法向量,得到表面形貌的微觀特征信息。
 
  4.三維形貌分析:采用光學形貌分析軟件對樣品的三維形貌進行特征提取,包括曲率半徑、徑向、軸向等。
 
  5.形貌偏差分析:對于生產制造中的實際工件,需要通過與標準數據進行對比計算形貌差異。
 
  6.特征擬合:通過擬合特征曲線,確定其數學表達式,便于后續對其進行擴展應用。

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