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一文了解半導(dǎo)體掃描電子顯微鏡

來源:津鈉儀器(上海)有限公司   2023年06月15日 08:53  
  掃描電鏡全稱為掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope,簡稱SEM),被廣泛地應(yīng)用于化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)、冶金、材料、半導(dǎo)體制造、微電路檢查等各個(gè)研究領(lǐng)域和工業(yè)部門。
  掃描電子顯微鏡(SEM)主要是利用二次電子信號(hào)成像來觀察樣品的表面形態(tài),即用極細(xì)的電子束去掃描樣品,通過探測由入射電子轟擊樣品表面激發(fā)出來的電子信號(hào),達(dá)到對物質(zhì)微觀形貌的表征。掃描電子顯微鏡可以觀察到半導(dǎo)體材料的形貌特征,也可以通過觀察材料在循環(huán)過程中發(fā)生的形變,判斷其對應(yīng)的循環(huán)保持能力。
  掃描電子顯微鏡SEM應(yīng)用范圍:
  1、材料表面形貌分析,微區(qū)形貌觀察
  2、各種材料形狀、大小、表面、斷面、粒徑分布分析
  3、各種薄膜樣品表面形貌觀察、薄膜粗糙度及膜厚分析
  Epoxy Technology Inc產(chǎn)品廣泛用于半導(dǎo)體、光電、光通訊、醫(yī)學(xué)、汽車、航天航空、航空電子設(shè)備以及電子裝配市場。
  掃描電子顯微鏡(SEM)中鍍鋁膜的玻璃鏡片與鋁金屬底座之間的導(dǎo)電粘接,推薦H20E導(dǎo)電膠,產(chǎn)品可適應(yīng)真空環(huán)境下使用,滿足低益氣,粘接強(qiáng)度牢固,耐震動(dòng)沖擊測試等。

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