AOI檢測（Automatic Optical Inspection）是一種利用光學成像技術對CIS影像芯片進行缺陷檢測的方法。該系統(tǒng)包含一個主動光源，將光照射到CIS影像芯片表面上，透過光線的反射，被相機鏡頭收集，形成CIS表面影像。這個影像可以通過影像辨識軟件進行分析和處理，自動辨識CIS芯片表面缺陷。 AOI檢測的優(yōu)點在于，它可以高效、快速地檢測CIS芯片表面的缺陷，包括瑕疵、污染、顆粒等等。

盡管AOI檢測在CIS芯片的生產(chǎn)中有著很多優(yōu)點，但是它也存在著一些局限性。由于CIS芯片的表面特性和缺陷類型多種多樣，而且還受到光照等環(huán)境因素的影響，因此需要針對不同類型的CIS芯片進行不同的光學參數(shù)設置和算法調(diào)整。同時，需要在整個生產(chǎn)線上不斷地對AOI檢測系統(tǒng)進行校準和維護，以保證檢測的準確性和穩(wěn)定性。

最重要的一點局限，AOI的檢測僅限于CIS芯片表面的特征，對于芯片內(nèi)部的制程參數(shù)，例如光轉(zhuǎn)電的過程中的特性，無法透過AOI觀察到，因此AOI無法提供完整的CIS性能評估與改進參考。