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賽默飛電子顯微鏡的工作原理是什么?

來源:北京歐波同光學技術有限公司   2023年06月10日 13:55  
  賽默飛電子顯微鏡是一種高分辨率的顯微鏡,可用于觀察材料的表面形貌和成分。其工作原理基于電子束與樣品相互作用產生的信號,經過電子光學系統的收集和處理,最終轉化為圖像。
 
  賽默飛電子顯微鏡的主要組成部分包括電子槍、樣品臺、電子光學系統和探測器等。其中電子槍是核心部件,它能夠產生高能電子束。電子束通過加速管中的高壓電場被加速到的能量,通常在數千伏至數十千伏之間,然后射入樣品區域。
 
  當電子束與樣品相互作用時,會發生多種物理過程,包括散射、透射、反彈、吸收等。在這些相互作用中,主要產生了兩種類型的信號:一種是次級電子,另一種是回散電子。次級電子是由于電子束激發了樣品表面的原子而產生的;回散電子則是由于電子束與原子核相互作用而產生的。這些信號與樣品表面的形貌、成分等密切相關。
 
  接著,電子光學系統將次級電子和回散電子聚焦到探測器上,產生信號。探測器可以是像素探測器、多道探測器或熒光屏等。其中像素探測器最為常見,它能夠直接將信號轉換為數字信號,然后通過計算機處理并構建圖像。熒光屏則需要使用攝像機進行捕捉并轉化為數字信號。
 
  由于賽默飛電子顯微鏡能夠實現非常高的空間分辨率(通常在納米級別),因此被廣泛應用于材料科學、半導體工藝、生物醫學等領域。人們能夠觀察微小結構的形貌、表面特征、成分分布等信息,從而深入了解材料的性質和行為。

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